新型、模組化、可擴展：TRUMPF Hüttinger的新款產生器平臺
TruPlasma VHF 3000系列產生器基於創新型平臺理念，可實現極高的功率密度並且滿足最苛刻的製程要求。模組化純水冷卻結構允許輸出功率最高擴展到80kW；此外，精巧型VHF產生器的高經濟性和穩健設計同樣令人信服。
此發生器針對現有單級和多級脈衝提供最佳的等離子體工藝流程控制。
因此可以非常靈活地控制發生器的點火特性。
自動頻率調諧實現發生器與阻抗適配箱之間的最佳協作。
得益于高精度數位化頻率調製得出可再現的卓越工藝結果。
當工藝發生變化時，無需調整高頻電纜長度，從而縮短裝備時間。
得益於CombineLine技術，即使在失調情況下發生器功能依舊可靠。
太陽能電池製造
在太陽能產業中，客製化製程電源有諸多應用領域。在此使用不同等離子體工藝來塗敷與去除材料，例如濺射、PECVD及刻蝕工藝。TruPlasma VHF 3000系列發生器可最佳適配相應工藝，同時快速電弧管理實現穩定控制等離子體。從而確保出色的工藝結果和卓越的生產效率。
半導體製造
在半導體製造中使用不同等離子體工藝，包括透過幹法刻蝕的材料去除工藝和用於製備純矽的區熔法。TruPlasma VHF 3000系列發生器為穩定的、最佳適配相應工藝的電源提供一切前提條件，以取得出色的可再現結果。
純平顯示幕塗層的理想之選
TruPlasma VHF 3000系列發生器理想適用於如RIE（反應離子刻蝕）、ALD（原子層沉積）、PECVD（等離子體增強化學氣相沉積）和射頻濺鍍法等等離子體工藝流程。這些工藝主要應用於製造半導體元件和微機械系統 (MEMS) 以及平板顯示器和太陽能電池的塗層。
靈活適配工藝
TruPlasma VHF 3000系列的模組化平臺允許輸出功率最高擴展到80 kW；得益於所實施的CombineLine技術，發生器在失調情況下仍然非常穩健。非常寬泛的頻率範圍以及可變電源電壓和電纜長度實現靈活適配不同應用與使用國。
極高的效率與經濟性
TruPlasma VHF 3000系列的高頻發生器完全採用最先進半導體技術利用LDMOS功率電晶體構建。高度整合化的平面構建技術在提高能量效率並相應降低冷卻功率的同時，還實現了極高的功率密度。因此，此產品系列提供此頻率範圍內前所未有的經濟性，縮減市場中的常見運行成本。
TRUMPF SystemPort
SystemPort透過直接量測阻抗適配箱輸入端和輸出端上的RF信號，形成閉環控制回路。RF發生器可使用所有量測值。由此實現更好的工藝流程參數監測，保護阻抗適配箱並確保及早識別電弧。可透過單一的發生器介面控制整個RF系統。
不同選項使VHF發生器以最佳方式適配您的應用。
精湛的電弧管理是適用於最佳等離子體工藝流程控制的理想模組。有針對性的電弧識別確保最高生產效率，同時保護產品與設備。
靈活的脈衝波形：輸出信號的波形可任意適配相應工藝要求。
已获专利的自动频率调谐解决方案能够快速同步适配频率，确保电源与阻抗匹配器之间的最佳协作。凭借已获专利的该项技术，局部最小化已非阻碍：RF 系统达到最佳状态，从而实现最佳工艺流程结果和高度可重复性。
TruControl Power
易于操作的控制软件 TruControl Power 实现在工艺运行中便捷调试和可靠监控高频发生器或整个通快 RF 系统。
透過選取適當的系統元件，可讓VHF發生器以最佳方式適配您的應用要求。
TruPlasma Match阻抗適配網路確保從發生器至等離子體放電裝置的最佳功率傳輸。阻抗適配箱可獨立運行或經由發生器與阻抗適配箱的智慧連接（即所謂的SystemPort）實現運行。
其由水管連接適配器、HARTING AC供電套件、聯鎖功能跨接器、LEMO EPL轉BNC母頭適配器（用於時鐘脈衝同步插頭）構成。
憑藉主振盪器可穩定和優化關鍵的同步等離子體過程。整合式數位頻率與相位合成器確保高頻率與相位穩定性，可以實現按照極小的步幅調整相位。可選擇適用於 13.56 MHz 頻率以及各種頻率組合的不同規格的主振盪器。
高頻轉換器允許在不同等離子體進程工站多次使用高頻發生器，例如用於給連續過程或具有不同饋電點的系統供電。提供兩種功率級別以及具有2、3 或 4個輸出端的不同高頻轉換器。
為實現高頻功率傳輸，TRUMPF Hüttinger提供專門設計用於在50歐姆系統下工作的同軸電纜。
彼此完美協調：TRUMPF RF系統
等離子體工藝就像一個複雜可變的負載，必須由發生器為其不斷供電。這項工作由有源適配網絡（所謂的阻抗適配箱）來完成，確保隨時精確適配50 Ω的最佳阻抗。由此形成相互完美協調的系統解決方案——TRUMPF RF系統。透過不同介面（如EtherCAT）可十分輕鬆地將發電機和抗阻變電箱整合至現有工藝環境之中，並透過發電機與抗阻變電箱的智慧連接（即所謂的SystemPort）形成經優化的系統解決方案。
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