可靠处理苛刻工艺
TruPlasma DC 4000 (G2) 系列专为困难材料的直流反应溅射而开发。以脉冲式直流电工作的该款发生器经受住尤为严苛的 PVD (物理气相沉积)和 PECVD (等离子体增强化学气相沉积)工艺的考验,这些工艺对涂层质量与生产效率均有极高要求。紧凑型直流电源可在脉冲与偏压模式下使用——亦即两种设备集于同一外壳!
数字化信号处理确保工艺稳定并将受电弧限制的时间损失最小化。
快速电弧处理与直流脉冲技术相结合,将基板损坏最小化。
得益于宽泛的频率范围和可调反向电压。
集成水冷装置节省空间,减少维护工作。
硬质镀膜
通过施加功能性涂层,承受强大负荷的工件获得更高的表面硬度和静摩擦力以及更好的热稳定性与化学稳定性。TruPlasma DC 4000 (G2) 系列脉冲式发生器实现稳定的等离子体工艺和最佳涂层质量。
金属喷镀
借助 PVD 工艺可将薄如蝉翼的金属涂层施加到不同材料上,以赋予其最佳光学与电气特性。与工艺参数最佳适配的电源实现绝对均匀、毫无缺陷的涂层沉积。
太阳能电池制造
为了影响其电气特性,需要给太阳能电池、纯平显示屏及触摸屏镀膜导电材料 (TCO)。TruPlasma DC 4000 (G2) 系列脉冲式发生器的电弧能量极少,特别适合此类应用。
建筑玻璃
在 PVD 等离子体工艺中,大面积建筑玻璃镀膜对工艺电源提出了极高要求。TruPlasma DC 4000 (G2) 系列脉冲式发生器为取得高质量的镀膜成果提供理想前提。
出色的塗層品質和生產效率
快速電弧處理與直流脈衝技術相結合使微滴率降低且表面缺陷減少。受電弧限制的製程中斷降到最少,沉積速率顯著提高。
靈活適配製程
脈衝頻率可在寬泛的範圍內調整,此外直流產生器還配備偏壓模式。藉此可將同一臺設備用於眾多應用。精心設計的監控工具有助於優化製程。
不同選項讓脈衝式直流產生器以最佳方式適配應用。
多臺TruPlasma DC 4000 (G2) 系列直流產生器可同步運行。對於指向不同目標的多臺產生器,此模式能夠實現電弧的同步識別。脈衝模式也可同步。
PVD Power
多語種軟體PVD Power使用者介面易操作,提供多方面的操作、配置及診斷方法,以此優化工藝品質和有效排除故障:顯示所有相關工藝參數的實際值以及警告和報警消息、由操作員規定額定值和以較高的時間解析度記錄重要運行參數並進行視覺化(示波器功能)。
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