新一代紧凑型直流电源
TruPlasma DC 3000 (G2) 系列适合众多直流溅射工艺——也可作为脉冲式工艺电源的替代品。因为有先进的电弧管理为最佳涂层质量和显著提升的成品率提供保障。由于特别紧凑的结构,该水冷式直流电源可非常方便地集成到现有应用之中。
残余能量 < 0.3 mJ/kW 确保最佳涂层质量和高沉积速率。
结构极为紧凑(19 英寸插入式装置),从而在确保更大功率的同时实现轻松集成。
输出功率从 20 kW 至 300 kW 不等,因此能够替代更为庞大的电源。
实现较长的系统运行时间,并减少维护工作。
可变电源电压(400 V 至 480 V)以及各种不同的数据接口。
![](https://media.trumpf.com/m/5f8b3ec5b6c9e537/original/Hartstoffbeschichtung-Derivat-512-341.jpg?w=1170&h=677)
硬质镀膜
通过借助直流磁控溅射施加功能性涂层,承受强大负荷的工件获得更高的表面硬度和静摩擦力以及更好的热稳定性与化学稳定性。TruPlasma DC 3000 (G2) 系列直流电源确保稳定的等离子体工艺和最佳涂层质量。
![](https://media.trumpf.com/m/6c2ef3399ab351eb/original/Zur-Aufbringung-dunnster-Metallschichten-ideal-geeignet-Derivat-512-341.jpg?w=1170&h=677)
金属喷镀
借助 PVD 工艺可将薄如蝉翼的金属涂层施加到不同材料上,以赋予其极佳的光学与电气特性。与工艺参数最佳适配的电源实现绝对均匀、毫无缺陷的涂层沉积。
![](https://media.trumpf.com/m/57b3fc505da871c8/original/Solarzellenherstellung-Derivat-512-341.jpg?w=1170&h=677)
太阳能电池制造
为了影响电气特性,需要给太阳能电池、纯平显示屏及触摸屏镀膜导电材料 (TCO)。由于其电弧残余能量极少,TruPlasma DC 3000 (G2) 系列直流电源对此极为适合。
![](https://media.trumpf.com/m/57ac281ac7ebba8a/original/Architekturglas-Derivat-512-341.jpg?w=1170&h=677)
建筑玻璃
在直流溅射工艺中,大面积建筑玻璃镀膜对工艺电源提出了极高要求。TruPlasma DC 3000 (G2) 系列直流电源为取得高质量的镀膜成果提供理想前提。
![](https://media.trumpf.com/m/1740de990616895c/original/Arc-Management-16to9.jpg?w=708&h=472)
脉冲式电源的低成本替代品
凭借其开拓性的电弧管理,TruPlasma DC 3000 (G2) 系列直流电源经受住许多溅射工艺的考验。作为脉冲式电源的低成本替代品,它们同样提供显著提升的成品率。
![](https://media.trumpf.com/m/1599dbaed27df04d/original/Bieten-bisher-unerreichte-Wirtschaftlichkeit-Generatoren-der-TruPlasma-VHF-Serie-3000-3x2.jpg?w=708&h=472)
在较高功率下的紧凑型替代品
尽管其结构非常紧凑,TruPlasma DC 3000 (G2) 系列直流电源仍能在涂层质量与生产效率上胜过更为庞大的电源。即使在超过 60 kW 的大输出功率下,它们也是可方便集成的紧凑型替代品。
![](https://media.trumpf.com/m/5f983a73a349647b/original/Gleichstrom-Generator-mit-vollstandiger-Wasserkuhlung.jpg?w=708&h=472)
实现较长系统运行时间的水冷装置
TruPlasma DC 3000 (G2) 系列直流电源配备了全水冷装置。相比于带有风冷装置的设备,可增加系统运行时间,同时减少维护工作并防止吸入灰尘颗粒造成污染。
不同選項使直流產生器以最佳方式適配您的應用。
水閥控制系統可調節冷卻水流量以免凝結,同時防止發生器過熱。
EtherCAT及EtherNET/IP介面方便TruPlasma DC 3000 (G2) 系列融入到現有設備之中。
多臺TruPlasma DC 3000 (G2) 系列直流產生器可同步運行。對於指向不同目標的多臺產生器,此模式能夠實現電弧的同步識別。脈衝模式也可同步。如需大輸出功率,也可並聯多達5臺TruPlasma DC 3030產生器。此功能等同一臺TruPlasma DC 3150。
![](https://media.trumpf.com/m/212f9dd2f191984/original/Bedienungsfreundliche-Software-PVD-Power-244x115.jpg?w=488&h=230)
PVD Power
多語種軟體PVD Power使用者介面易操作,提供多方面的操作、配置及診斷方法,以此優化工藝品質和有效排除故障:顯示所有相關工藝參數的實際值以及警告和報警消息、由操作員規定額定值和以較高的時間解析度記錄重要運行參數並進行視覺化(示波器功能)。
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