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感應

TruHeat MF G3 系列

數十年經驗之精華

遍佈全球,適用於所有感應式應用

TRUMPF 霍廷格電子推出新一代產品。TruHeat MF G3 系列發生器尤為適合晶體培養和晶體外延生長應用。我們透過業界優秀的前代產品 TruHeat MF 3000 系列積累了數十年的經驗,並將這些經驗在新一代產品中發揮地淋漓盡致:既優化成本效益,又確保可靠性與耐用性。

工作電壓範圍廣

無需技術適配,全球可用

耐用又可靠的結構類型

停機時間短,因此持久可用並節省成本

需水量少

經濟又可靠的冷卻設計降低了開支

使用壽命全程均能保持最高經濟效益

效率高達 94.5%,運作費用低

廣泛的應用範圍

透過業界優秀的前代產品 TruHeat MF 3000 積累的經驗有助於提升可靠性與耐用性,同時優化成本效益。尤其是針對 SiC。當然也同樣適用於豐富多樣的整體感應類市場。

晶體外延生長

將單晶層塗覆至相同材料的基質上,例如製造發光二極體時。

晶體培養

TruHeat MF G3 系列發生器主要用於要求嚴苛的感應式加熱任務(例如晶體培養),尤其是培養碳化矽(SiC)。

應用靈活、全球適用

占地需求小,可輕鬆整合至任意應用環境——單獨的並聯振盪電路結構能在工藝中靈活佈置。得益於可變的電源電壓,無需技術改動即可在全球範圍內使用此款發生器,众多可用接口简化配置与操作。

溫控型進程的理想解決方案

並聯振盪電路技術減少裝工具時間,改善生產效率並擴大應用範圍。得益於靈活的功率調節(將近 0 % 至 100 %)特性,透過 TruHeat MF G3 系列發生器可優化調節溫控進程。運行時的可靠性和長期穩定性保障高生產效率和效果的可重複性。中頻輸出變壓器的分接頭實現輕鬆適配各種感應進程。

TruHeat MF G3 系列
外部電路

藉助外部電路可根據高頻發生器優化調節負載(感應線圈 + 工件),這樣就可隨時輸出最大功率。提供各種外部電路用於不同應用。

電路類別3

將設備安全斷電。

可切換輸出電壓

輸出電壓可從300 V切換成600 V,因此適合高要求加熱進程。

聯網型 GUI

藉助聯網型圖形操作介面,無需軟體便可輕鬆地在電腦(筆記型電腦)上操作、配置和監控發生器。

電感器
電感器幾何形狀針對相應加熱製程進行特別適配(環形、線性或模型電感器)。
高溫計和程式控制器
高溫計用於非接觸式量測溫度不超過2000 °C的表面。配對的程式調節器能夠精准落實溫度曲線。
冰水機
冰水機負責工藝流程熱量的可靠排放。 針對不同的功率範圍可提供各類規格。
同軸變壓器
同軸變壓器用於產生器和電感器之間的最佳功率適配。 可提供變壓比為6:1、9:1 和 12:1的同軸變壓器。

視國家而定,此產品分類與此説明 可能存在偏差。保留技術、裝備、價格與配件範圍方面的更改權利。 請與當地聯絡人取得聯繫,以便瞭解 您所在國家是否提供該產品。

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