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感應

TruHeat HF 7000 系列

高功率电源配以成熟的管道技术

可靠高功率适用于要求严苛的加热进程

即使在超過500 kHz的高頻率下,TruHeat HF 7000系列仍能提供恒定的高功率,是針對半導體工業和光伏工業中的不間斷長時運行過程理想之選,同樣也適用于商業外包淬火車間中不斷變化的要求。始終值得信賴的發生器。

成熟的管道技术

即使頻率超過500 kHz仍能確保可靠的進程效果。

稳定的高功率

頻率高達3000 kHz時,功率為500 kW。

大功率带宽

七個功率等級(10 kW至500 kW)實現眾多工業應用。

频率范围大

400 kHz至3000 kHz,實現針對各種不同加熱進程的優化適配。

即便工艺条件严苛,也能确保较高的长期稳定性

懸浮區熔法 (FZ) 用於生成高純矽。

多种用途

感應耦合等離子體 (ICP)。

讓您的應用發揮最佳性能

发生器的堅固結構確保在工業環境中經久耐用,因此即使在苛刻的長時運行過程中,其設計也能確保穩定的不間斷運行,實現可觀的生產效率。

憑藉成熟的管道技術生成最高的輸出頻率和輸出電壓,整合的可控矽調節器允許快速準確適配功率。發生器和諧振電路可作為獨立模組選購,實現工作站結構的空間優化。

電源連接資料          
電源電壓 (±10%) (±10%) (±10%) (±10%) (±10%)
電源頻率 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
電源輸入功率 210 kVA 63 kVA 252 kVA 126 kVA 21 kVA
功率因數 0.9 0.9 0.9 0.9 0.9
輸出口          
標稱功率 100 kW 30 kW 120 kW 60 kW 10 kW
最大輸出電壓 6600 V eff 6300 V eff 7000 V eff 6300 V eff 5000 V eff
額定運行頻率 400 kHz - 3000 kHz 400 kHz - 3000 kHz 400 kHz - 3000 kHz 400 kHz - 3000 kHz 400 kHz - 3000 kHz
電力電纜長度 3 m - 4 m 3 m - 20 m 3 m - 4 m 3 m - 20 m 3 m - 20 m
通訊介面          
類比/數位
冷卻器條件          
最大水壓 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar
最小壓力差 3.5 bar 3.5 bar 3.5 bar 3.5 bar 3.5 bar
最小流量 100 l/min 30 l/min 120 l/min 60 l/min 10 l/min
冷卻劑最高溫度 35 °C 35 °C 35 °C 35 °C 35 °C
環境條件          
外部溫度 10 °C - 45 °C 10 °C - 45 °C 10 °C - 45 °C 10 °C - 45 °C 10 °C - 45 °C

藉助各類系統元件,針對不同系統環境最佳化適配高頻發生器。

远程控制单元

远程控制单元提供与电源操作面板相同的功能范围。由此能够在应用环境内直接操作电源,同时观察加热工艺流程。

阻抗匹配器

借助阻抗匹配器(又称为外部电路)可使负载(感应线圈 + 组件)最佳适配高频电源,从而能够始终输出最大功率。提供各种阻抗匹配器,可用于不同应用。

選用合適的系統組件,實現高頻發生器針對現有應用的優化適配。

電感器
電感器幾何形狀針對相應加熱進程進行特別適配(環形、線性或成形電感器)。
高溫計
高溫計用於無接觸式表面溫度量測,量測溫度可高達2000 °C。透過與其相連的程式控制器實現對溫度分佈曲線精准的探測採樣。
冰水機
冰水機負責工藝流程熱量的可靠排放。針對不同的功率範圍可提供各類規格。

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