您將獲益於寬標靶範圍內直接、均勻的熱處理以及高反射公差。憑藉高功率密度(超過100 W/cm²),TruHeat VCSEL 系統可實現高流程速度。
工業 TruHeat VCSEL 系統
基於VCSEL陣列的雷射光源能夠以選擇性波長的紅外光束進行大面積加熱。TruHeat VCSEL 系統應用於諸多工業加熱流程。由於直接照射加工面,無需昂貴的加工頭或掃瞄器系統,因此較之傳統雷射系統具有顯著的成本優勢。此類系統的獨特之處在於,不僅可以精確控制與快速切換紅外功率,還能透過獨立控制雷射模組的各個小線段來任意程式設計空間加熱廓線。運作期間甚至還能動態改變加熱模式。由此實現前所未有的工藝靈活性。
您將獲益於千瓦級可擴展輸出功率。
憑藉100 W/cm²的功率密度可實現高加工速度。
VCSEL束源的獨立輻射區可單獨操控。
堅固精巧的雷射模組能夠輕鬆整合至工業設備與生產流程中。
![](/filestorage/TRUMPF_Processed/_processed_/2/f/csm_Photonics-VCSEL-Heating-Systems-application-battery-foil-drying_27bd93f412_30560cb0e4.jpg)
![](/filestorage/TRUMPF_Processed/_processed_/9/8/csm_TRUMPF-autotmoive-battery-cell-pouchcell_c8bec4df09_89eab610aa.jpg)
![](/filestorage/TRUMPF_Processed/_processed_/f/4/csm_Photonics-applications-heating-systems-weakening-softening_988d8a90b2_0212e3d145.jpg)
汽車業中的局部車身鋼軟化
藉助 TruHeat VCSEL 系統能夠簡單、快速地對高強度鋼件進行選擇性退火。特別是在汽車生產中,這將具備眾多優勢。
![](/filestorage/TRUMPF_Processed/_processed_/3/e/csm_Photonics-VCSEL-Heating-Systems-application-wafer-heating_9f4cbcddde_354b1d0a71.jpg)
晶圓加熱
在半導體行業中,VCSEL雷射可用於加熱晶圓,以進行快速熱處理(RTP)。由於各個加熱區都能得到很好地控制,因此 TruHeat VCSEL 系統能夠快速、均勻地加熱晶片。可以達到每秒幾百攝氏度的溫度上升。
![](/filestorage/TRUMPF_Processed/_processed_/9/0/csm_Photonics-VCSEL-Heating-Systems-laser-assisted-bonding_fe4f2cd66f_ac7db0d5f7.jpg)
半導體生產:雷射輔助鍵合(LAB)
在採用雷射輔助鍵合(LAB)時,倒裝晶片使用焊球作為連接元件放置在線路板上。TruHeat VCSEL 系統從上方輻射晶片,雷射能量透過矽晶片傳輸,從而熔化晶片和線路板之間的焊球。與其他解決方案相比,基於 VCSEL 的加熱系統能提供更大的加熱表面和更高的功率選項。
![](/filestorage/TRUMPF_Processed/_processed_/9/a/csm_Photonics-VCSEL-Heating-Systems-laser-assisted-soldering_153dfa4b34_8b1f844722.jpg)
半導體生產:雷射輔助焊接(LAS)
採用鐳射輔助焊接(LAS)時,焊球透過VCSEL紅外熱處理直接連接到線路板上的焊盤。當使用較小的焊球和間距時,這一方法非常有用。VCSEL加熱系統技術提供高精度加熱和高品質焊點。LAS工藝還有助於延長線路板的使用壽命。
![透過雷射選區熔化生成部件](/filestorage/TRUMPF_Processed/_processed_/e/e/csm_Applications-workpiece-creation-laser-metal-fusion_988ed6b035_1c2939986f.jpg)
使用金屬的積層製造(預熱)
在 3D 列印的大體積金屬部件中,熱梯度通常會對燒結零件產生負面影響。透過從上方的基於 VCSEL 的雷射加熱,可以最大限度地減小應力。因為雷射熱量可顯著降低積層製造零件上的熱應力和變形。由此確保部件的機械性能得到改善。
![](/filestorage/TRUMPF_Processed/_processed_/c/e/csm_Photonics-applications-heating-systems-quick-joining_fef122dadf_6d40610fb8.jpg)
在傢俱板材生產中快速連接大型塑膠零部件
憑藉均勻輻射加熱區中的高輻射強度,您將受益於大型塑膠零部件的快速焊接。由於模組尺寸小,整合極為簡便。
![](/filestorage/TRUMPF_Processed/_processed_/2/1/csm_Photonics-VCSEL-Heating-Systems-application-photovoltaik_7fafdf96d1_efe711a28a.jpg)
光伏:雷射動力共燒過程、超快速再生和光浸潤過程
TruHeat VCSEL 系統為太陽能電池生產帶來了眾多優勢。例如在針對性燒結太陽能電池觸點的過程中。另外在再生過程中也是如此:透過對電池進行強烈輻射減少了缺陷,打破了能量障礙,從而提高了效率。
TruHeat VCSEL 3010 (2.4 kW)
產品對比
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TruHeat VCSEL 3010 (9.6 kW)
產品對比
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TruHeat VCSEL 3010 (19.2 kW)
產品對比
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TruHeat VCSEL 3012
產品對比
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雷射參數 | ||||
波長 | 980 nm | 980 nm | 980 nm | 980 nm |
雷射功率 | 2.4 kW | 9.6 kW | 19.2 kW | 6 kW |
光束角 | 通常 10°(當功率為 95 % 時) | 通常 10°(當功率為 95 % 時) | 通常 10°(當功率為 95 % 時) | 通常 10°(當功率為 95 % 時) |
區域的數量 | 12 個 | 48 個 | 96 個 | 30 個 |
發射區域 | 40 x 52 mm2 | 40 x 208 mm2 | 417.5 x 38 mm2 | 521.6 x 25.3 mm2 |
功率密度 | typisch 115 W/cm2 | typisch 115 W/cm2 | typisch 115 W/cm2 | typisch 115 W/cm2 |
雷射等級 | 4 | 4 | 4 | 4 |
雷射加工單元 | ||||
光學元件 | 可選擇使用聚焦或散射鏡頭 | 可選擇使用聚焦或散射鏡頭 | 可選擇使用聚焦或散射鏡頭 | 可選擇使用聚焦或散射鏡頭 |
保護鏡片 |
雙防護窗,防反射塗層 |
雙防護窗,防反射塗層 |
雙防護窗,防反射塗層 |
雙防護窗,防反射塗層 |
尺寸 | ||||
量測尺寸:寬度 | 87 mm | 87 mm | 112.7 mm | 133.5 mm |
量測尺寸:高度 | 48 mm | 48 mm | 113 mm | 87 mm |
量測尺寸:深度 | 108 mm | 264 mm | 563 mm | 652 mm |
驅動單元 | ||||
驅動單元數量 | 1 個 | 4 個 | 1 個 | 1 個 |
雷射控制系統 | 一般為 10 ms 的時間常數;雷射發射區的單獨控制系統;內建雷射監測 | 一般為 10 ms 的時間常數;雷射發射區的單獨控制系統;內建雷射監測 | 一般為 10 ms 的時間常數;雷射發射區的單獨控制系統;內建雷射監測 | 一般為 10 ms 的時間常數;雷射發射區的單獨控制系統;內建雷射監測 |
機台介面 | 基於乙太網路(EtherCAT® 協議) | 基於乙太網路(EtherCAT® 協議) | 基於乙太網路(EtherCAT® 協議) | 基於乙太網路(EtherCAT® 協議) |
電源 | 3 相 400V (±10 %), 47-63 Hz | 3 相 400V (±10 %), 47-63 Hz | 3 相 400V (±10 %), 47-63 Hz | 3 相 400V (±10 %), 47-63 Hz |
安裝 | ||||
環境溫度 | 5 - 40 °C | 5 - 40 °C | 5 - 40 °C | 5 - 40 °C |
空氣濕度(最大) | 冷卻水溫度為 20 °C 時,不凝結 | 冷卻水溫度為 20 °C 時,不凝結 | 冷卻水溫度為 20 °C 時,不凝結 | 冷卻水溫度為 20 °C 時,不凝結 |
冷卻裝置 | 必需帶水/水或水/空氣換熱器的冷卻元件 | 必需帶水/水或水/空氣換熱器的冷卻元件 | 必需帶水/水或水/空氣換熱器的冷卻元件 | 必需帶水/水或水/空氣換熱器的冷卻元件 |
TruHeat VCSEL 3010 (2.4 kW)
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TruHeat VCSEL 3010 (9.6 kW)
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TruHeat VCSEL 3010 (19.2 kW)
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TruHeat VCSEL 3012
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雷射參數 | ||||
波長 | 980 nm | 980 nm | 980 nm | 980 nm |
雷射功率 | 2.4 kW | 9.6 kW | 19.2 kW | 6 kW |
光束角 | 通常 10°(當功率為 95 % 時) | 通常 10°(當功率為 95 % 時) | 通常 10°(當功率為 95 % 時) | 通常 10°(當功率為 95 % 時) |
區域的數量 | 12 個 | 48 個 | 96 個 | 30 個 |
發射區域 | 40 x 52 mm2 | 40 x 208 mm2 | 417.5 x 38 mm2 | 521.6 x 25.3 mm2 |
功率密度 | typisch 115 W/cm2 | typisch 115 W/cm2 | typisch 115 W/cm2 | typisch 115 W/cm2 |
雷射等級 | 4 | 4 | 4 | 4 |
雷射加工單元 | ||||
光學元件 | 可選擇使用聚焦或散射鏡頭 | 可選擇使用聚焦或散射鏡頭 | 可選擇使用聚焦或散射鏡頭 | 可選擇使用聚焦或散射鏡頭 |
保護鏡片 |
雙防護窗,防反射塗層 |
雙防護窗,防反射塗層 |
雙防護窗,防反射塗層 |
雙防護窗,防反射塗層 |
尺寸 | ||||
量測尺寸:寬度 | 87 mm | 87 mm | 112.7 mm | 133.5 mm |
量測尺寸:高度 | 48 mm | 48 mm | 113 mm | 87 mm |
量測尺寸:深度 | 108 mm | 264 mm | 563 mm | 652 mm |
驅動單元 | ||||
驅動單元數量 | 1 個 | 4 個 | 1 個 | 1 個 |
雷射控制系統 | 一般為 10 ms 的時間常數;雷射發射區的單獨控制系統;內建雷射監測 | 一般為 10 ms 的時間常數;雷射發射區的單獨控制系統;內建雷射監測 | 一般為 10 ms 的時間常數;雷射發射區的單獨控制系統;內建雷射監測 | 一般為 10 ms 的時間常數;雷射發射區的單獨控制系統;內建雷射監測 |
機台介面 | 基於乙太網路(EtherCAT® 協議) | 基於乙太網路(EtherCAT® 協議) | 基於乙太網路(EtherCAT® 協議) | 基於乙太網路(EtherCAT® 協議) |
電源 | 3 相 400V (±10 %), 47-63 Hz | 3 相 400V (±10 %), 47-63 Hz | 3 相 400V (±10 %), 47-63 Hz | 3 相 400V (±10 %), 47-63 Hz |
安裝 | ||||
環境溫度 | 5 - 40 °C | 5 - 40 °C | 5 - 40 °C | 5 - 40 °C |
空氣濕度(最大) | 冷卻水溫度為 20 °C 時,不凝結 | 冷卻水溫度為 20 °C 時,不凝結 | 冷卻水溫度為 20 °C 時,不凝結 | 冷卻水溫度為 20 °C 時,不凝結 |
冷卻裝置 | 必需帶水/水或水/空氣換熱器的冷卻元件 | 必需帶水/水或水/空氣換熱器的冷卻元件 | 必需帶水/水或水/空氣換熱器的冷卻元件 | 必需帶水/水或水/空氣換熱器的冷卻元件 |
所有產品種類的技術資料均可下載。
![VCSEL加熱系統概覽](/filestorage/TRUMPF_Processed/_processed_/4/0/csm_Photonics-Heating-Systems-overview-picture_3c9f1dd81d_a575bc4e1e.jpg)
TruHeat VCSEL 3000 系列
TruHeat VCSEL 3000 系列的標準模組有 2.4 kW、4.8 kW、9.6 kW 和 19.2 kW 版本。標準模組用於定向大面積加熱應用。相應的應用區域被直接照射,無需額外使用加工頭或掃描器系統。
![](/filestorage/TRUMPF_Processed/_processed_/8/e/csm_Photonics-VCSEL-Heating-Systems-product-picture-PM419_becb08e0a5_257ce5ab78.jpg)
TruHeat VCSEL 3012
TruHeat VCSEL 3012 系統具有相對較低的功率密度,而寬度較大。因此,它特別適用於乾燥電池箔。多個模組可以前後排列,以實現更長的乾燥距離。
![](/filestorage/TRUMPF_Processed/_processed_/4/2/csm_Photonics-VCSEL-Heating-Systems-product-picture-heating-module-focusing-optic_a239671842_7b25952814.jpg)
特殊解決方案
VCSEL加熱系統靈活,可以滿足客製化要求。根據客戶的應用,將一同確定VCSEL加熱系統的合適配置。
圖為一個緊湊型雷射模組,具有 32 個 VCSEL 陣列和聚焦鏡頭,用於 3D 列印合成材料或標註包裝材料。每個 VCSEL 陣列可以單獨控制,輸出功率為 2 W。
用於 TruHeat VCSEL 系統的控制系統軟體
![](/filestorage/TRUMPF_Processed/_processed_/a/c/csm_Photonics-VCSEL-Infrared-Power-Systems-basic-software_9f5499bbf4_a25fd1f3a2.jpg)
基礎驅動控制軟體
控制系統軟體的基礎版本提供手動控制 TruHeat VCSEL 系統的雷射通道和設定功率之功能。
![](/filestorage/TRUMPF_Processed/_processed_/9/3/csm_Photonics-VCSEL-Infrared-Power-Systems-advanced-software-temperature_7449c15a89_8eb4baa2d4.jpg)
高級驅動控制軟體
控制軟體的擴展版本建立在基礎版本之上,並具有基礎版本不具備的功能,例如溫度控制或脈衝。此外,還可以創建時間和性能設定檔。這使得 TruHeat VCSEL 系統的功率可以在加工時間內變化。
TruHeat VCSEL 系統的熱密度可能會受到附加透鏡的影響。VCSEL 加熱模組的功率密度可以透過正透鏡增加。使用負透鏡則會降低功率密度。
氣刀用於使飛濺物和蒸汽遠離雷射系統的保護鏡片。它在雷射器前產生保護氣流。
角形安裝板簡化了 TruHeat VCSEL 系統的技術組裝。
對於需要較低功率密度的應用,可以使用具有不太密集的發射器和散焦透鏡的 TruHeat VCSEL 系統。
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