處理過程完全掌控
透過TruPlasma MF 7000 (G2) 系列可以隨時掌控工藝流程:此款發電機的電弧管理和點火特性獨具優勢,是用於大面積鍍膜(Large Area Coating)以及雙磁控濺射中高要求反應工藝流程的理想供電系統。與此同時,超過 90 % 的頂尖能量轉化率和極為高效的冷卻水管理系統確保極高的運行經濟性。
即使在極其嚴苛的反應工藝流程中,仍能實現出色結果與高沉積速率。
具有頂尖的效率超過90%能量轉化率,運行效率可超過 80 %。
即使在高冷卻水溫度和低壓差條件下,功能依舊可靠。
可變供給電壓,因此無需技術調整。
頂尖的中頻供電
建築玻璃的大面積塗層(Large Area Coating):複合材料,如氧化矽對於電源穩定性提出極高要求。
塗覆超薄塗層
平板顯示器和觸控面板的塗層:藉助雙磁控濺射塗覆超薄型(nm)、高穩定性的均勻氧化鋁塗層。
太陽能電池製造
太陽能玻璃的塗層:TruPlasma MF 7000 (G2) 系列的穩定供電系統藉助中頻濺射實現極薄型透明導電氧化物(TCO)塗層的均勻塗覆。
最高經濟性與靈活性
TruPlasma MF Serie 7000 (G2) 的較高運行效率和靈活冷卻設計確保持續整個使用壽命的最高經濟效益。即使在惡劣的氣候和安裝條件下,供電系統仍舊隨時保持穩定 — 冷卻水溫度偏高、低水壓和高空氣濕度均不會對進程品質產生干擾。此款中頻發電機工作電壓範圍寬廣,因此無需技術適配,全球可用。
精確控制進程
僅利用極少參數設定即可精確控制塗層品質和生產效率。這有助於實現電弧處理的靈敏度和所需產量之間的最佳平衡。提供多種介面,操作軟體TruControl Power方便實用,以此實現高效配置和診斷。
電弧管理獨具優勢
高反應速度和相應減少的殘餘能量實現穩定的進程和最高濺射速率。發電機可靠識別並避免在靶上形成電弧和產生熱應力 — 其結果是遍佈整個基體表面的絕對均勻的塗層。此外,快速可靠的電弧管理能夠實現在電壓可控的過渡範圍(過渡模式)內順利運行發生器。
TruPlasma MF 7000 (G2) 系列有大量選項可供選擇,以此根據應用要求對中頻發電機進行調整。
针对空气湿度较高的环境可为电源配电箱配备主动除湿单元。其运行需要冷却水控制装置。
可选购具有 180 极宽张角的配电箱柜门(标准值为 130 °C)。
Profinet、Profibus、EtherCAT 以及模拟与数字接口使 TruPlasma MF 7000 系列能够轻松融入至现有设备之中。
TruPlasma MF 7000 (G2) 系列可配备极为灵敏的电弧管理(UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW,标准值为 ≤ 10 mJ/kW)。UltraFastTreatment 需要 3 类安全级别。
借此減少電弧形成和熱應力。點火電壓和斜升時間可單獨調節。
功率可達 100 kW 的中頻發生器可選配 20 ~ 70 kHz 的擴展頻率範圍(標準值為 20 ~ 50 kHz)。
TruControl Power
易于使用的多语种控制软件 TruControl Power 提供操作、配置和诊断方面的多种选项。
透過選擇合適的系統元件能夠使TruPlasma MF 7000 (G2)系列以最優方式調整您的系統環境。
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