可靠高功率适用于要求严苛的加热进程
即使在超过 500 kHz 的高频率下，TruHeat HF 7000 系列仍能提供恒定的高功率，理想适用于半导体工业和光伏工业中的无间断长时工艺流程，同样适配商业外包淬火车间中不断变化的要求。始终值得信赖的电源。
即使频率超过 500 kHz 仍能确保可靠的工艺结果。
频率高达 3000 kHz 时，功率为 500 kW。
七个功率等级（10 kW 至 500 kW）实现众多工业应用。
400 kHz 至 3000 kHz 的频率范围确保最佳适配不同加热工艺流程。
即便工艺条件严苛，也能确保较高的长期稳定性
悬浮区熔法 (FZ) 用于生成高纯硅。
多种用途
感应耦合等离子体 (ICP)。
让您的应用发挥最佳性能
坚固的结构确保电源在工业环境中经久耐用，即使在严苛的长时工艺流程中，也能由此确保稳定的无间断运行，实现可观的生产效率。
凭借成熟的管道技术生成最高的输出频率和输出电压，集成式可控硅调节器则允许快速精确适配功率。电源和谐振电路可作为独立模块选购，从而实现工站结构的空间优化。
|
TruHeat HF 7100
产品对比
|
TruHeat HF 7030
产品对比
|
TruHeat HF 7000 系列
产品对比
|
TruHeat HF 7060
产品对比
|
TruHeat HF 7010
产品对比
|
|
|---|---|---|---|---|---|
| 标称连接数据 | |||||
| 电源供应器电压 | (±10%) | (±10%) | (±10%) | (±10%) | (±10%) |
| 电源频率 | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| 电源消耗功率 | 210 kVA | 63 kVA | 252 kVA | 126 kVA | 21 kVA |
| 功率系数 | 0.9 | 0.9 | 0.9 | 0.9 | 0.9 |
| 输出端 | |||||
| 标称功率 | 100 kW | 30 kW | 120 kW | 60 kW | 10 kW |
| 最高输出电压 | 6600 V eff | 6300 V eff | 7000 V eff | 6300 V eff | 5000 V eff |
| 标称工作频率 | 400 kHz - 3000 kHz | 400 kHz - 3000 kHz | 400 kHz - 3000 kHz | 400 kHz - 3000 kHz | 400 kHz - 3000 kHz |
| 功率电缆长度 | 3 m - 4 m | 3 m - 20 m | 3 m - 4 m | 3 m - 20 m | 3 m - 20 m |
| 通信接口 | |||||
| 模拟/数字 | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ |
| 冷却要求 | |||||
| 最高水压 | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar |
| 最小压差 | 3.5 bar | 3.5 bar | 3.5 bar | 3.5 bar | 3.5 bar |
| 最小流量 | 100 l/min | 30 l/min | 120 l/min | 60 l/min | 10 l/min |
| 冷却剂最高温度 | 35 °C | 35 °C | 35 °C | 35 °C | 35 °C |
| 周围条件 | |||||
| 外部温度 | 10 °C - 45 °C | 10 °C - 45 °C | 10 °C - 45 °C | 10 °C - 45 °C | 10 °C - 45 °C |
|
TruHeat HF 7100
|
TruHeat HF 7030
|
TruHeat HF 7000 系列
|
TruHeat HF 7060
|
TruHeat HF 7010
|
|
|---|---|---|---|---|---|
| 标称连接数据 | |||||
| 电源供应器电压 | (±10%) | (±10%) | (±10%) | (±10%) | (±10%) |
| 电源频率 | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| 电源消耗功率 | 210 kVA | 63 kVA | 252 kVA | 126 kVA | 21 kVA |
| 功率系数 | 0.9 | 0.9 | 0.9 | 0.9 | 0.9 |
| 输出端 | |||||
| 标称功率 | 100 kW | 30 kW | 120 kW | 60 kW | 10 kW |
| 最高输出电压 | 6600 V eff | 6300 V eff | 7000 V eff | 6300 V eff | 5000 V eff |
| 标称工作频率 | 400 kHz - 3000 kHz | 400 kHz - 3000 kHz | 400 kHz - 3000 kHz | 400 kHz - 3000 kHz | 400 kHz - 3000 kHz |
| 功率电缆长度 | 3 m - 4 m | 3 m - 20 m | 3 m - 4 m | 3 m - 20 m | 3 m - 20 m |
| 通信接口 | |||||
| 模拟/数字 | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ |
| 冷却要求 | |||||
| 最高水压 | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar |
| 最小压差 | 3.5 bar | 3.5 bar | 3.5 bar | 3.5 bar | 3.5 bar |
| 最小流量 | 100 l/min | 30 l/min | 120 l/min | 60 l/min | 10 l/min |
| 冷却剂最高温度 | 35 °C | 35 °C | 35 °C | 35 °C | 35 °C |
| 周围条件 | |||||
| 外部温度 | 10 °C - 45 °C | 10 °C - 45 °C | 10 °C - 45 °C | 10 °C - 45 °C | 10 °C - 45 °C |
所有产品款型的技术数据以供下载。
凭借各种选配，高频电源可最佳适配不同的系统环境。
远程控制单元提供与电源操作面板相同的功能范围。由此能够在应用环境内直接操作电源，同时观察加热工艺流程。
借助阻抗匹配器（又称为外部电路）可使负载（感应线圈 + 组件）最佳适配高频电源，从而能够始终输出最大功率。提供各种阻抗匹配器，可用于不同应用。
通过选用合适的系统组件能够使高频电源最佳适配现有应用。
受国别影响，此产品分类与此说明 可能有所不同。保留技术、装备、价格与配件范围方面的更改权利。 请与您当地的联系人取得联系，以便了解您所在国家 是否可提供该产品。
