Tạo cấu trúc và cắt bỏ bằng laser tiêu cự cố định mới được khai phá. Chỉ đến khi khái niệm gia công thu nhỏ được biết đến rộng rãi thì quy trình này mới được quuan tâm nhiều hơn. Vì trong tạo cấu trúc và cắt bỏ bằng laser, các cấu kiện được gia công với kích thước nhỏ và nhỏ nhất.
Về mặt quy trình thì tạo cấu trúc và cắt bỏ có mối liên quan mật thiết: Bằng công suất xung rất cao, xung laser ngắn tạo ra các mật độ năng lượng cao để vật liệu hầu như bay hơi trực tiếp (thăng hoa). Trong quá trình này chỉ có ít sự nóng chảy hình thành. Mỗi xung laser gây nên điểm ép lún nhỏ. Nó thường đạt được kích thước 10 micromet về đường kính và chỉ vài micromet về chiều sâu.