Phủ lớp nguyên tử:
Trong phủ lớp nguyên tử, từng lớp nguyên tử riêng lẻ được phủ lên. Điều này cho phép tách lớp theo mong muốn và cực kỳ chính xác. Đặc điểm là một chất lượng lớp chưa từng đạt được. Ban đầu, ứng dụng thực tế cho các lớp tương đối mỏng với những yêu cầu cao trong sản xuất bán dẫn - đặc biệt trong sản xuất bộ nhớ truy cấp ngẫu nhiên động từ công nghệ 45 nm (2008). Các ứng dụng mới cho phủ lớp nguyên tử là lớp chặn chống độ ẩm và không khí, lớp thụ động hóa điện trong quang điện thế và công nghệ màn hình. Phủ lớp nguyên tử tăng cường plasma (hay phủ lớp nguyên tử plasma):
Qua kích hoạt bằng plasma thay vì kích hoạt bằng nhiệt, khả năng phủ các chất nền nhạy cảm nhiệt như nhựa được mở ra. Ngoài ra có thể sử dụng các chất đầu ra khó phản ứng trong nhiệt. Ngoài thụ động hóa điện các bề mặt bán dẫn, lĩnh vực ứng dụng còn bao gồm lớp chặn chất lượng cao từ nhựa, công nghệ khóa cho hiển thị (màn hình) siêu mỏng và dẻo trong tương lai, đặc biệt trên màn hình OLED.
Liên hệ