Bằng quy trình tách vật liệu, cấu trúc cho cấu kiện điện tử được tạo ra từ các lớp mỏng. Ví dụ như phát sinh từ đường dẫn điện hoặc điện trở. Bằng cách ion hóa các phân tử của khí dung môi, ion được tạo ra. Chúng tăng tốc trong vùng điện trường của plasma đến bề mặt chất nền. Phản ứng ion axit cho phép loại bỏ theo hướng mong muốn, là yêu cầu cho sản xuất các cấu kiện vi điện tử và MEMS (hệ thống vi cơ điện tử). Để điều khiển chính xác dòng ion và năng lượng ion, các máy phát với tần số kích khác nhau được sử dụng để tạo điện áp phân cực.
Liên hệ