High Power Seed Module (HPSM) birkaç watt'lık çıkış darbeleri üreten iki tohum lazeriyle, lazer ışınını oluşturan ve optimal bir pals uzunluğunu sağlayan çeşitli aktif ve pasif optik bileşenlerden oluşuyor. İlk yükseltmeyle ışın, önce 100 W boyutuna yükseltiliyor. Tohum lazerleri, sahip oldukları koruyucu mekanizmalar sayesinde geri yansımalara karşı en iyi şekilde korunuyor, böylece genel sistemin dengesi belirgin bir şekilde arttırılmış ve istenen sabit EUV performansı elde edilmiş oluyor.

High Power Amplification Chain (HPAC), güç yükseltici dört adet rezonatörden oluşur, rezonatörler arasındaki bağlantı ışın yayan elemanlar üzerinden gerçekleşir. Rezonatörlerin her biri, ilgili güçlendirme düzeyine göre optimize edilmiştir (örn., fan, RF tahriki, gaz mikseri, ışın kılavuzu). Üç farklı soğutma devresi, sistemde gerekli stabilitenin oluşmasını sağlar. Kısa palslar, MW alanında son derece yüksek çıkış gücü sağlar. Kapsamlı bir çevrimiçi metroloji sayesinde ışının kalıcı olarak ölçümünün temeli sağlanmış olur.

Beam Transport System (BTS) - montaj plakası, periskop ve aynadan oluşur - lazer ışınını 30 metreye varan uzaklıklarda damla haznesine doğru gönderir. Temelde, düşük bir absorpsiyon ve kirlenme için belirleyici olan etkenler, yüksek güç yükü altında sistemin sahip olduğu mekanik stabilite ve ışın kılavuzunun yoğunluğudur. Mümkün olduğunca az lazer ışınının absorbe edilmesi için aynalar özel bir kaplamaya sahiptir.

FFA, iki sistem bileşeninden oluşur: bir Optics Platform ve bir Focusing Unit. İdeal bir plazma parlamasının oluşturulabilmesi için lazer palsinin kalay damlasını hemen hemen tam isabetle vurması gerekir. Kalay damlası, lazer ışını çapından daha küçük olduğundan, Optics Platform'da ön ve ana pals ayrımı yapılır ve damla, optimal bir EUV üretimi için şekillendirilir. Ön pals kalay damlasını önce daha düşük bir pals gücüyle vurur, böylece damla, disk şeklinde bir yapı oluşturacak şekilde şişer ve alanı artar. Ön palsın hemen ardından gelen ana pals ise, meydana gelen sıvı film tarafından absorbe edilir ve EUV ışını oluşturacak olan asıl plazma oluşmuş olur. Bu şekilde, 40 kilowatt lazer gücü verimli bir şekilde kullanılmakta ve pozlama için plazma flaşlarının güvenli bir şekilde üretilmesi mümkün olmaktadır. Lazer ışının en optimal şekilde kalay damlası üzerinde odaklanması Focusing Unit ile sağlanır.