TruPlasma RF 1001 Air, 1000 Watt'a kadar yüksek hassasiyette, yeniden üretilebilir HF enerjisi üretebilen bir hava soğutmalı radyo frekansı jeneratörüdür. 100 mW'lik adımlarla çalışabilen, aşırı hassas çözünürlüğe sahip cihaz, bu özelliği dolayısıyla çok çeşitli plazma uygulamaları için uygundur. Yarı iletken, güneş pili ya da ekran üretiminde olsun fark etmez, patentli TRUMPF Hüttinger teknolojisi, modern işlem fonksiyonları sayesinde tüm uygulamalarda yüksek bir güvenilirlik ve en iyi işlem sonuçlarını garanti ediyor.
Optimal ve hızlı frekans uygunlaştırması sağlayarak jeneratör ve Matchbox arasında ideal bir uyum oluşturur.
Zorlu ve yeni üretim işlemlerinin güvenle gerçekleştirilmesi ürününüzün korunmasını sağlar.
Modern plazma işlemlerinde daha iyi sonuçların elde edilebilmesi için pals şeklinin çok kademeli, esnek bir şekilde kumanda edilebilmesi.
Esnek bir kullanım imkanı sunan jeneratörlerin işlem değişikliklerinde ya da retrofit uygulamalarında değiştirilebilmesi mümkündür.
Patentli CombineLine teknolojisi, 50 Ohm çıkış empedansı sayesinde eşdeğerli bir performans garantiliyor.
Yüksek frekans enerjisi ürün ailesi içerisindeki farklı performans sınıfları sayesinde tüm işlem gereklilikleri karşılanabiliyor.
İşlemlerde değişiklik gerçekleştirilmesi ya da sistem değişiklikleri durumlarında kablo uzunluğunun bu doğrultuda uyarlanmasına artık gerek yok.
TruPlasma RF Air Serisi 1000 radyo frekansı jeneratörleri, RIE, ALD, PECVD ve RF püskürtme gibi plazma işlemleri için ideal bir tercih. Bu proses temel olarak yarı iletken yapı elemanlarının ve mikromekanik sistemlerin (MEMS) üretilmesinde ve düz ekranların ve solar hücrelerin kaplanmasında kullanılır.
TruPlasma RF Air Serisi 1000'in tipik uygulama alanları; güneş enerjisi endüstrisindeki zorlu PECVD, dağlama ve HF saçtırma işlemleridir.
Yarı iletkenlerin üretiminde, kuru dağlama ile malzeme sıyırma proseslerinden saf silisyum üretimindeki bölgesel çekmeye kadar çeşitli plazma prosesleri kullanılır. TruPlasma RF Air Serisi 1000 jeneratörleri, ilgili işleme göre uyarlanmış, dengeli ve ideal bir elektrik beslemesinin elde edilmesini sağlar, böylece tekrarlanabilir nitelikte mükemmel sonuçlar elde edilir.
En yüksek verimlilik ve kullanılabilirlik
Radyo frekansı jeneratörlerinin esnek ve sağlam tasarımları sayesinde iş hacminiz yükselir, işletim masraflarınız düşer.
Dengeli işlemler ve tekrarlanabilir sonuçlar
Akıllı gerçek zamanlı eşleştirme fonksiyonuyla patentli CombineLine teknolojisi, TruPlasma RF 1001 Air'e optimal bir kullanılabilirlik özelliği verir ve plazma dalgalanmalarını ve kirlilikleri güvenilir bir şekilde engeller.
Kompakt ve esnek kullanım
Kompakt tasarımı sayesinde (½-19 inçlik rafa uygun) radyo frekansı jeneratörü az yer kaplıyor, bu özelliği jeneratörü hem yeni kurulumlarda hem de var olan tesislere retrofit çözümü olarak eklenmesinde ideal bir cihaz kılıyor. Çok sayıdaki mevcut arayüz sayesinde (yapılandırılabilir analog arayüz, ethernet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) cihazın entegrasyonu oldukça kolay.
Virgül sonrası değerine kadar yüksek hassasiyet
100 mW'lik adımlı hassas enerji ölçümü sayesinde TruPlasma RF 1001 Air ile ALD gibi en modern ve zorlu uygulamalarda bile en iyi sonuçlar elde edilebiliyor. Radyo frekansı jeneratörünün sahip olduğu aşırı hassas güç regülasyonu, en iyi Wafer-to-Wafer tekrar edilebilirliğini garantiliyor.
Modern işlem fonksiyonları sayesinde en iyi işlem sonuçları
Akıllı otomatik frekans ayarı 2.0, ark yönetimi ve çok seviyeli palslama gibi dijital kumanda fonksiyonları sayesinde radyo frekansı jeneratörü ilgili işleme en uygun şekilde uyarlanabiliyor.
Müşteri uygulamasına esnek uyum
Standardize jeneratör tasarımında mevcut olan farklı performans sınıfları ve frekansları, işlem değişikliklerinde kolay bir değişimi mümkün kılıyor. Keza kablo uzunluğunun uyarlanması da artık ihtiyaç duyulmuyor.
HF sisteminin tamamının TRUMPF SystemPort üzerinden kumanda edilmesi
SystemPort, RF sinyalini doğrudan Matchbox giriş ve çıkışında ölçerek kapalı kontrol sistemini sağladığından tüm ölçüm değerleri radyo frekansı jeneratörünün kullanımı için hazır bulunuyor. İşlem parametreleri sürekli denetlenebiliyor, Matchbox korunuyor ve erken ark algılaması sağlanabiliyor.
Senkronizasyon modülü, birden çok jeneratörün kompleks plazma sistemlerinde esnek ve güvenli bir şekilde senkronizasyonunu mümkün kılıyor.
Sofistike ark yönetimi sayesinde plazma işlemi optimal bir şekilde kontrol edilebiliyor. Hassas ark algılama verimliliği arttırırken, aynı zamanda ürün ve sistemi olası hasarlara karşı korunuyor.
En yeni plazma işlemlerinde pals modunda daha fazla esnekliğe gerek duyuluyor. Çok kademeli, serbest seçimli pals modunda her tür pals şekli elde edilebiliyor. Plazma fiziğinde yeni bir kumanda mekanizması ortaya koyan bu durum aynı zamanda daha iyi işlem sonuçlarının elde edilmesini de sağlıyor.
Patentli otomatik frekans ayarı sistemi, jeneratör ve Matchbox arasında eşzamanlı ve hızlı frekans uygunlaştırmasını sağlıyor. Böylece en iyi işlem sonuçları ve yüksek bir yeniden üretilebilirlik garanti ediliyor.
Web-GUI
Entegre ağ sunucusu sayesinde hem HF sisteminin işletimi hem de bir ağ tarayıcısı üzerinden yazılım güncellemeleri mümkün kılınır.
TruControl Power
Kullanıcı dostu kontrol yazılımı, radyo frekansı jeneratörünün konforlu bir şekilde işletmeye alınmasına ve jeneratörle TRUMPF RF sisteminin, işlem devam ederken güvenli şekilde denetlenmesine olanak sağlar.
Ülkeye göre bu ürün yelpazesinde ve bu bilgilerde farklılıklar mevcut olabilir. Teknik, donanım, fiyat ve aksesuar seçeneklerinde değişiklik yapma hakkı saklıdır. Ürünün ülkenizde mevcut olup olmadığını öğrenmek için lütfen irtibat yetkiliniz ile yerinde görüşün.
