Ülke, bölge ve dil seçimi
Plazma uyarımlar

TruPlasma RF 3000 Serisi

Ödünsüz radyo frekansı teknolojisi

Mükemmel proses sonuçları garanti

Bu radyo frekansı jeneratörleri ile her zaman emin olabilirsiniz: TruPlasma RF 3000 Serisi, sağlam yapıları ve yüksek verimlilik ile ön plana çıkar. Bu nedenle düz ekranların, solar hücrelerin veya yarı iletkenlerin üretilmesi gibi zorlu üretimlerde stabil ve tekrarlanabilir plazma üretim süreçlerinin yürütülmesi için idealdir. Dünya genelinde binlerce uygulaması gerçekleştirilen bu jeneratörler, yüksek verimliliği ve olağanüstü proses sonuçlarını garanti eder.

Verimli ve ekonomik

Verimlilik oranında %80'lere varan artış elde edilmesi, enerji maliyetlerinin %50'ye yakın azaltılmasına olanak sağlar.

Mükemmel RC ark yönetimi

Zorlu ve yeni üretim prosesleri de güvenle gerçekleştirilebilir.

Yüksek sağlamlık ve proses istikrarı

CombineLine teknolojisi: Hatalı ayar durumunda yansıyacak güçlere karşı güvenilir koruma sağlar.

Maksimum esneklik

Sürekli veya palslı güç çıkışı vardır, bu nedenle çok yönlü kullanılabilir.

Dağlama ve kaplama prosesleri

TruPlasma RF 3000 Serisi radyo frekansı jeneratörleri, özellikle dağlama ve kaplama prosesleri için uygundur, örn. plazma dağlama, reaktif iyon dağlama, ALD ve PECVD.

Metal iş parçalarını kaplama

Plazma prosesleri aracılığıyla yüzeylere malzeme uygulaması yapılabileceği gibi mevcut malzemelerin sıyrılması da mümkündür, örneğin metal iş parçalarının aşınma koruyucu katman ile kaplanması veya elektronik yapı elemanlarının plazma dağlama veya fotorezist plazma küllendirme işlemiyle yapılandırılması için.

Düz ekranları ve solar hücreleri kaplama

TruPlasma RF 3000 Serisi radyo frekansı jeneratörleri RIE, ALD, PECVD ve RF saçtırma gibi plazma işlemleri için ideal bir tercihtir. Bu prosesler temel olarak düz ekranların ve solar hücrelerin kaplanmasında kullanılır.

En yüksek verimlilik ve proses istikrarı

Mükemmel verimlilik oranı sayesinde güç kaybı yarıya iner ve soğutma suyu tüketimi düşer - böylece işletim masraflarınız da azalır. Jeneratörlerin son derece sağlam yapıları, kritik önemdeki proseslerde bile daha uzun çalışma süreleri boyunca kullanılmalarına ve dolayısıyla daha yüksek kaplama hızları elde edilmesine olanak sağlar. Gerçek 50 Ohm çıkış empedansı ile CombineLine teknolojisi kullanılarak plazma dalgalanmaları etkin şekilde önlenir - bu sayede mutlak proses istikrarı sağlanabilir.

Tüm koşullar altında güvenlik

Sağlam yapısı sayesinde, proseslerinizde maksimum güvenilirlik ve verimlilik elde etmenizi sağlar. Yanlış ayarlamaya karşı %100 koruma sağlayan sistem, kritik yüklenme durumlarında bile güvenli bir işletim sağlar. Tercihen sürekli veya palsli güç çıkışının kullanılabilmesi, geniş bir yelpazedeki proses gerekliliklerini karşılayabilme olanağı sunar. Dünya genelinde 20.000'i aşın ünitenin kurulumu gerçekleştirilmiştir - diğer tüm plazma elektrik beslemelerinden çok daha fazla sayıdadır.

TRUMPF SystemPort

SystemPort, RF sinyalini doğrudan Matchbox girişinde ve çıkışında ölçerek kapalı kontrol sistemi sağlar. RF jeneratörüne tüm ölçüm değerleri sunulur. Bu şekilde proses parametreleri daha iyi denetlenebilir, Matchbox korunur ve erken ark algılaması sağlanabilir. Komple RF sistemi aynı zamanda tek bir jeneratör arabiriminden kumanda edilebilir.

Farklı opsiyonlar sayesinde, radyo frekansı jeneratörünüzü uygulamanıza en uygun şekilde uyarlayabilirsiniz.

Ark yönetimi

Kapsamlı ark yönetimi, en iyi plazma prosesi kontrolü için ideal modüldür. Hedef odaklı ark algılaması, maksimum verimlilik sağlar ve aynı zamanda ürünü ve sistemi korur.

TruControl Power

Kullanıcı dostu kontrol yazılımı TruControl Power, radyo frekansı jeneratörünün veya TRUMPF RF sisteminin proses devam ederken konforlu şekilde işletmeye alınmasına ve güvenli şekilde denetlenmesine olanak sağlanır.

TRUMPF RF sistemini tüm komponentleri birbirleriyle optimum uyum içindedir.

TruPlasma Match 1000 Serisi (G2/13)
TruPlasma Match uygunlaştırma devreleri, jeneratörden plazma deşarjına optimum bir güç transferinin gerçekleştirilmesini sağlar. Matchbox tek başına veya SystemPort adı verilen akıllı jeneratör Matchbox bağlantısı üzerinden çalıştırılabilir.
Ana osilatörler
Ana osilatörler sayesinde, kritik önemdeki senkron plazma proseslerini stabilize ve optimize edebilirsiniz. Entegre dijital frekans ve faz birleştirici, yüksek frekans ve faz stabilitesini sağlar ve faz sisteminin çok küçük adım genişlikleriyle ayarlanabilmesine olanak sağlar. 13,56 MHz frekans değeri ve farklı frekans kombinasyonları için seçebilecek farklı ana osilatör modelleri mevcuttur.
Yüksek frekans çevirici
Yüksek frekans çevirici, bir radyo frekansı jeneratörünün farklı plazma proses istasyonlarında, örneğin elektrik beslemesi, sıralı prosesler veya farklı besleme noktalı sistemler için çoklu kullanıma olanak verir. İki güç sınıfında olan ve 2, 3 veya 4 çıkışlı farklı yüksek frekans çeviriciler mevcuttur.
Coax kablo
TRUMPF Hüttinger, 50 Ohm sistemlerde kullanılmak üzere özel olarak tasarlanmış, yüksek frekans güç transferine yönelik bir coax kablo sunar.

Birbirleriyle mükemmel uyumlu: Jeneratör ve Matchbox

Plazma prosesleri, elektrik beslemesinin jeneratör ile sürekli olarak revize edilmesi gereken karmaşık, değişken bir yük gibi davranır. Bu özellikler, Matchbox adı verilen ve optimum 50 Ohm empedans değerindeki hassas ayarın her zaman garanti edilmesini sağlayan aktif uyarlama şebekeleriyle sağlanır. Bu sayede, birbirleriyle mükemmel bir uyum içinde olan TRUMPF RF sistem çözümü ortaya çıkmıştır. EtherCAT gibi çeşitli arabirimler aracılığıyla, jeneratörü ve Matchbox'ı mevcut proses ortamınıza son derece kolayca entegre edebilirsiniz ve SystemPort adı verilen akıllı jeneratör Matcbox bağlantısı ile ideal sistem çözümüne ulaşabilirsiniz.

Ülkeye göre bu ürün yelpazesinde ve bu bilgilerde farklılıklar mevcut olabilir. Teknik, donanım, fiyat ve aksesuar seçeneklerinde değişiklik yapma hakkı saklıdır. Ürünün ülkenizde mevcut olup olmadığını öğrenmek için lütfen irtibat yetkiliniz ile yerinde görüşün.

İlginizi çekebilecek diğer konular

TRUMPF Hüttinger Worldwide
TRUMPF Hüttinger bünyesindeki muhatap kişiniz

Bir ürünle mi ilgileniyorsunuz veya danışmanlığa mı ihtiyacınız var? Buradan dünya genelinde muhatap kişilere ulaşabilirsiniz.

7/24 ulaşabilirsiniz

Our IoT Services will help to maximize your up-time and makes service support even more preventative and projectable.

VHF Generator Serie 3000
Güçlü tasarım ve yüksek tasarruf

TRUMPF Hüttinger tarafından üretilen modüler, ölçeklendirilebilir ve yenilikçi VHF jeneratörler, tasarruflu çalışması ve dayanıklı tasarımı ile ön plana çıkmaktadır.

İletişim
Ehab Alhawari
Sales TRUMPF Hüttinger
E-posta
Servisler
Bakım sözleşmeleri Daha fazla bilgi al Teknik müşteri servisi Daha fazla bilgi al Eğitimler Daha fazla bilgi al Orijinal parçalar Daha fazla bilgi al
İndirebileceğiniz dosyalar
Servis ve iletişim