Elektronik
Mikro elektronik alanındaki ilerleme; hız, boyut ve verimlilik bakımından lazer tekniği ile son derece yakından ilişkilidir.
Minyatürleştirme trendi ve ekstrem büyük miktarlarda partiler, elektronik endüstrisinin en önemli özelliklerinden ikisidir. Şimdiye dek ulaşılmış en yüksek hassasiyet ve otomasyon potansiyeli sayesinde lazer teknolojisi, bu handikaplar için endüstriyel çözümler sunmaktadır. TRUMPF lazerler, yeni nesil bilgisayar çipleri üretiminde önemli rol oynamaktadır. Bunun dışında lazerler; silikon Wafer'ları, devre kartlarını veya komple elektronik modülleri kesme ve delme gibi birçok işlem yapılmasını sağlamaktadır. Ayrıca TRUMPF Hüttinger jeneratörleri, silikon Wafer üretiminde kaplama ve dağlama işlemleri için hassas enerji tedariği de yapmaktadır.
Yarı iletken endüstrisi
TRUMPF lazerleri, elektronik sektörünün vazgeçilmezi olan yüksek kaliteli ve sürdürülebilir ürünleri büyük partilerde üretebilmektedir. Dünya çapındaki sektörün öncüsü üretim tesislerinde sadece ultra kısa pals lazerlerde 1000'in üzerinde makina yılın 365 günü 7/24 faaliyet göstermektedir. Uygulama alanına bağlı olarak TRUMPF, makina veya ayrı lazer teknoloji paketleri sunmaktadır. Her iki alternatifte de müşterilerimiz, TRUMPF Grubunun uluslararası servis ağından yararlanmaktadır.
Geleceğin yüksek performanslı çipleri
Mikro elektronik ve günümüzdeki bilgisayar ve akıllı telefonların temeli, lazer teknolojisi olmadan oluşamazdı. Mantıksal çipler ve bellek çipleri, nanometre ölçülerinde boyutlara sahiptir ve sadece karmaşık pozlama süreçlerinde lazer ışını ile üretilmektedir. Excimer lazerler ile klasik UV lazer ışını yöntemi, gittikçe sınıra dayanmaktadır. Gelecekte daha küçük yapılar, ekstrem ultraviyole (UV) aralığındaki daha kısa dalga boylarında üretilecektir. Dünyanın en büyük litografi sistemleri üreticisi ASML ve optik alanında uzman kuruluş Zeiss ile birlikte TRUMPF, bu EUV litografi yöntemi üzerinde uzun yıllar boyu yoğun şekilde çalışmış ve dünyada ilk kez CO2 sistemini geliştirmiştir. Tüm bunlar dikkate alındığında, gelecekte birçok yüksek performanslı çipte bir parça TRUMPF teknolojisi bulunacaktır.
Çip üretimi
TRUMPF Hüttinger plazma jeneratörleri, çiplerin üretiminde de önemli rol oynamaktadır. Akım beslemesinin kalitesi, oluşturulan plazmaların kalitesini ve hassasiyetini belirlemektedir. Bu plazma, sonraki adımda yarı iletken çiplerin üretilmesi için çeşitli malzemeleri noktalama (iyon implantasyonu), ayırma (PECVD, ALD) veya silme (plazma dağlama) işlemlerinde kullanılmaktadır. Bu süreçte oluşan zehirli gazlar, TRUMPF Hüttinger jeneratörlerindeki özel bir sistem ile etkili biçimde temizlenmekte ve yarı iletken üretiminde CO2 ayak izi olabildiğince düşük seviyede tutulmaktadır.
Çipler, paketler ve devre kartlarında soğuk ve hassas işleme
Silikon Wafer üzerinde devrelerin pozlamasını ve kurulumunu yaptıktan sonra, ayrı çipler haline getirmek elektronik üretim sürecindeki bir sonraki engeldir. Olabildiğince küçük kesim noktaları ve yüksek kenar kalitesi elde etmek ve aynı zamanda hassas çiplere termik etkilerle zarar vermemek için, ayırma işleminde TRUMPF'un ultra kısa palslı lazerleri kullanılmaktadır. Bu lazerler, malzemelerin istenmeyen ısıl etki oluşmadan işlenmesini ve lazer işlemesinde en yüksek hassasiyetin elde edilmesini sağlamaktadır. Hassas modüllerin kesilmesi (System-in-Package), çoklu malzemeden üretilen devre kartlarının işlenmesi, silikon ve cam mikro Via'ların delinmesi için de bu lazerler kullanılmaktadır. Bunlar haricinde sektörde TRUMPF lazerlerinden katman yontma, film kesme ve markalama çalışmalarında da yararlanılmaktadır.
Kristal büyütme
Sentetik kristal üretimi, yarı iletkenlerin ve dolayısıyla tüm iletişim ve medya teknolojisinin üretiminde temel teşkil etmektedir. Tek kristalli katmanlar, aynı malzemenin tek kristalli alt katmanı üzerinde büyümekte ve kristalografik düzen korunmaktadır. Bu yöntem LED'lerin üretimi gibi alanlarda kullanılmaktadır. TRUMPF Hüttinger endüksiyon jeneratörleri, çıkış boyutlarını hızlı ve hassas şekilde ayarlayarak homojen ve stabil sıcaklık dağılımı elde etmektedir.