การทำโครงสร้างและการลอกด้วยเลเซอร์โซลิทสเตทไม่ได้เป็นที่รู้จักกันมานานแล้ว ครั้งแรกตั้งแต่คำว่าการทำงานระดับไมโครติดปาก กระบวนการนี้จึงกลายเป็นจุดศูนย์กลางจองความสนใจมากขึ้นเรื่อย ๆ เนื่องจากในการทำโครงสร้างด้วยเลเซอร์และการลอกด้วยเลเซอร์จะทำงานกับชิ้นงานที่มีขนาดเล็กและเล็กที่สุด
เทคนิคกระบวนการจะใกล้เคียงกับการทำโครงสร้างและการลอกอย่างมาก: พัลส์เลเซอร์ที่มีกำลังพัลส์ที่สูงมากสร้างความหนาแน่นของพลังงานที่สูงจนกระทั่งวัสดุส่วนใหญ่กลายเป็นไอโดยตรง (การระเหิด) ระหว่างกระบวนการนี้จะเกิดการหลอมละลายเพียงเล็กน้อย ทุกพัลส์เลเซอร์จะสร้างความลึกขนาดเล็ก ซึ่งมีขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางโดยทั่วไปในระดับ 10 ไมโครเมตร และลึกเพียงไม่กี่ไมโครเมตร