High Power Seed Module (HPSM) består av två Seed-lasrar som skapar utgångspulser på några watt, samt en mängd aktiva och passiva optiska komponenter som formar laserstrålen och säkerställer en optimal pulslängd. Ljuset förförstärks till storleksordningen 100 W med en förstärkare. Seedlasrarna är optimalt skyddade mot återreflektioner av skyddsmekanismer så att hela systemets stabilitet ökas avsevärt och den konstanta EUV-effekten som krävs kan uppnås.

High Power Amplification Chain (HPAC) består av fyra resonatorer för att öka effekten. De är anslutna till varandra med strålgångselement. Varje resonator är optimerad för respektive förstärkningssteg (t.ex. fläkt, RF-excitation, gasblandning, strålgång). Tre olika kylkretsar garanterar därmed nödvändig stabilitet i systemet, korta pulser säkerställer extra hög topputeffekt i MW-området. Omfattande online-metrologi utgör grunden för permanent mätning av strålen.

Beam Transport System (BTS) – består av monteringsplatta, periskop och spegel – transporterar laserstrålen upp till 30 meter i riktning mot droppkammaren. För att säkerställa låg absorption och kontamination är det viktigt att systemet är mekaniskt stabilt och att strålgången är tät. Spegeln har en speciell beläggning så att så lite laserljus som möjligt absorberas.

FFA består av två anläggningsdelar: en Optics Platform och en Focusing Unit. För att alstra en optimal plasmablixt måste laserpulsen i princip träffa tenndropparna fullständigt. Eftersom tenndropparna är mindre än laserstrålens diameter separeras en för- och huvudpuls i Optics Platform och formas till optimal EUV-generering. Förpulsen träffar först tenndropparna med lägre pulseffekt så att dropparna sväller till en skivform och ytan förstoras. Den efterföljande huvudpulsen absorberas från den bildade vätskefilmen och den faktiska plasman bildas, som genererar EUV-strålningen. På så sätt utnyttjas 40 kW lasereffekt effektivt och en processäker generering av plasmablixten säkerställs för exponering. Focusing Unit säkerställer en optimal fokusering av laserljuset på tenndropparna.