Plasmageneratorer

De solid state-baserade plasmageneratorerna i TruPlasma MW-serien består av ett innovativt plattformskoncept och skapar mycket stora plasmatätheter för högt ställda processkrav. Med hjälp av nanopulserna kan många plasmaparametrar ställas in optimalt för den önskade tillämpningen.

Med de flexibelt formbara utgångssignalerna och sofistikerade båghanteringen levererar procesströmförsörjningen till TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1) enastående resultat vid tillverkning av solceller och halvledare, vid applicering av dekorativa och slitstarka slikt samt vid beläggning av arkitekturglas. Generatorerna i den senaste generationen är utmärkta för krävande plasmaprocesser som reaktiv sputtring, PVD och PECVD.

Med MF-generatorerna i TruPlasma Serie MF 7000 (G2) har du alltid full kontroll över processen – resultatet är enastående lagerkvaliteter och högsta produktivitet även vid krävande beläggning av stora ytor. Med verkningsgrader på över 90 % är dessa strömförsörjningar av senaste generationen dessutom extremt lönsamma i drift.

Procesströmförsörjningen för TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) levererar mycket korrosionsbeständiga och slitstarka hårdmaterialbeläggningar och är det främsta valet för HIPIMS-tillämpningar. Kombinerat med polariserade substrat kan TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) även fungera som halvledarapplikationer, t.ex. trenchfyllning, förbehandling av ytor och etsning.

Som en ny generation av likströmsgeneratorer är TruPlasma DC Serie 3000 (G2) lämpliga för många olika DC-sputtringsprocesser. Tack vare den progressiva båghanteringen och den integrerade vattenkylningen är DC-generatorer intressanta som ett kostnadseffektivt alternativ till pulsade DC-generatorer. Den mycket kompakta konstruktionen möjliggör dessutom enkel integrering i befintliga tillämpningar.

Generatorerna i TruPlasma Arc Serie 3000 imponerar framför allt vid hårdmaterialsbeläggningar och dekorativa beläggningar. Den kompakta konstruktionen och luftkylningen säkerställer optimalt nyttjande av värdefullt utrymme och integreringen i nya och befintliga system underlättas.

Den luftkylda HF-generatorn TruPlasma 1000 Air levererar upp till 1 000 watt reproducerbar HF-energi med hög precision och extremt fin upplösning – i steg om 100 mW – och är därmed lämplig för många olika plasma-tillämpningar. Oavsett om det gäller tillverkning av halvledare, solceller eller displayer – den patenterade TRUMPF Hüttinger-tekniken garanterar högsta tillgänglighet och bäst processresultat tack vare moderna processfunktioner.

De kraftfulla HF-generatorerna i TruPlasma RF Serie 3000 utmärker sig genom högsta effektivitet och processtabilitet. Därför är de perfekt lämpliga för krävande plasmaprocesser som till exempel används vid tillverkningen av plattskärmar, solceller eller halvledare. Anpassningsnätverk för impedansanpassning, som är exakt anpassade till generatorn, säkerställer optimal och stabil effektöverföring från generatorn till plasman.

De är avgörande för en optimal plasmaprocess att HF-generatorns utgångsimpedans är exakt anpassad. Detta uppnås av anpassningsnätverken i TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) som en länk mellan generator och process. På så sätt uppstår en enhetlig lösning för procesströmförsörjningen – TRUMPF RF-systemet.