Med induktivt kopplad plasma (ICP) kan man uppnå temperaturer på upp till 10 000 °C vid atmosfärstryck. För detta måste plasmagasen försättas i det fjärde materietillståndet. Vid uppstart behövs en tändningsanordning – termisk eller med högspänning. Den genererar de första fria laddningsbärarna som sedan accelereras med hög spänning i induktorns magnetfält vilket leder till en lavinartad jonisering av plasmagasen. Därefter uppstår en elektriskt ledande plasma som kan värmas upp ytterligare induktivt.
Vanliga plasmagaser är argon, kväve, väte och syre samt deras blandningar. Viktiga tillämpningar är sfäroidisering av metallpartiklar, aktivering av glasytor, rengöring av kiselsmälta (rening), framställning av metall-keramiska föreningar och spektroskopi. Generatorerna med rörteknologi från TRUMPF Hüttinger levererar tillförlitligt effekter på upp till 120 kW vid frekvenser på 2 –3 MHz för den här applikationen.