Epitaxi är en process där monokristallina skikt, t.ex. av kisel, skapas på enkristallina substrat av samma material. Substraten befinner sig på en induktivt uppvärmd susceptor av grafit. Detta kräver mycket hög grad av temperaturhomogenitet. Epitaxi används bland annat vid tillverkningen av lysdioder. TRUMPF Hüttinger medelfrekvensgeneratorer leverera tillförlitligt och stabilt den processenergi som behövs.
Epitaxi
Renaste tillväxten skikt för skikt
Kontakt