Inovatívna, stavebnicová, nastaviteľná: Nová platforma generátorov firmy TRUMPF Hüttinger
Generátory TruPlasma VHF Série 3000 sú vytvorené na základe inovatívnej koncepcie platformy, ktorá umožňuje najvyššie hustoty výkonu a spĺňa najnáročnejšie požiadavky procesov. Stavebnicová a len vodou chladená konštrukcia umožňuje zmenu výstupného výkonu až na 80 kW. Okrem toho sa kompaktné VHF generátory vyznačujú vysokou hospodárnosťou a robustnou konštrukciou.
Ponúka najlepšiu kontrolu procesov plazmy k jestvujúcim Single a Multi-Level pulzom.
Vďaka tomu je možné veľmi flexibilné riadenie vlastností generátora pri zapaľovaní.
Automatické nastavenie frekvencie pre vytvorenie optimálnej súhry medzi generátorom a adaptačným sieťovým systémom (matchbox).
Excelentné, opakovateľné výsledky procesu vďaka vysoko presnej digitálnej modulácii frekvencie.
Nie je potrebné žiadne nastavovanie dĺžky VF kábla pri zmenách procesu, preto sú časy osadzovania kratšie.
Spoľahlivá funkcia generátora vďaka technológii CombineLine, aj pri chybnom nastavení.
Výroba solárnych článkov
V oblasti fotovoltaiky je množstvo oblastí použitia pre energiu procesu ušitú na mieru. Používajú sa tu rôzne procesy plazmy pre nános a úber materiálu, napr. pre procesy pokovovania rozprašovaním, PECVD a procesy leptania. Generátory TruPlasma VHF Série 3000 je možné optimálne upraviť pre konkrétny proces, rýchly Arc manažment pritom umožňuje stabilné ovládanie plazmy. Vďaka tomu sú garantované excelentné výsledky procesov a vysoká produktivita.
Výroba polovodičov
Pri výrobe polovodičov sa používajú rôzne procesy plazmy, od procesov úberu materiálu cez suché leptanie až po ťahanie zóny pri výrobe čistého kremíka. Generátory zariadenia TruPlasma VHF Série 3000 poskytujú všetky predpoklady pre stabilné a na konkrétny proces prispôsobené napájanie elektrickým prúdom, tak aby bolo možné docieliť excelentné, opakovateľné výsledky.
Ideálne na povrchové úpravy plochých obrazoviek
Generátory TruPlasma VHF Série 3000 sú ideálne na procesy plazmy ako RIE, ALD, PECVD a RF pokovovanie rozprašovaním. Tieto procesy sa používajú okrem iného pri výrobe polovodičových prvkov a mikromechanických systémov (MEMS) ako aj pri vytváraní povrchových vrstiev plochých obrazoviek a solárnych článkov.
Flexibilné prispôsobenie k procesu
Stavebnicová koncepcia platformy zariadenia TruPlasma VHF Série 3000 umožňuje nastavenie výstupného výkonu až na 80 kW. Vďaka implementovanej technológii CombineLine sa generátor správa aj pri chybnom nastavení veľmi robustne. Jeho ďalšia frekvenčná oblasť ako aj premenné sieťové napätie a dĺžka káblov umožňujú flexibilné nastavenbie pre rôzne aplikácie a krajiny nasadenia.
Najvyššia efektivita a hospodárnosť
VF generátory TruPlasma VHF Série 3000 sú celé vybudované v najmodernejšej polovodičovej technike s výkonovými tranzistormi LDMOS. Planárna konštrukčná technika s veľkou integrácikou umožňuje najvyššie hustoty výkonu súčasne pri vysokej energetickej efektivite a patrične zníženému chladiacemu výkonu. Vďaka tomu ponúka táto séria v tejto frekvenčnej oblasti doposiaľ nedosiahnutú hospodárnosť a znižuje prevádzkové náklady bežné na trhu.
TRUMPF SystemPort
SystemPort umožňuje uzatvorený regulačný okruh pomocou merania RF signálu priamo na vstupe a výstupe adaptačného sieťového systému. RF generátor má k dispozícii všetky namerané hodnoty. Vďaka tomu môžete lepšie sledovať parametre procesu, chrániť adaptačný sieťový systém a zaručiť včasné rozpoznanie Arc. Kompletný RF systém je teda možné riadiť prostredníctvom jednotlivých prípojok generátora.
Rozličné doplnkové výbavy Vám umožňujú optimálne zladenie VHF generátora s Vašimi aplikáciami.
Premyslený Arc manažment je ideálnym modulom pre najlepšiu kontrolu procesov plazmy. Cielené rozpoznanie Arc garantuje najvyššiu možnú produktivitu a zároveň chráni produkt a Vaše zariadenie.
Flexibilné tvarovanie pulzu: Tvar výstupného signálu je možné nastaviť ľubovoľne podľa konkrétnych požiadaviek procesu.
Patentované riešenie Auto Freuquency Tuning umožňuje simultánne a rýchle nastavenie frekvencie a garantuje optimálnu súhru medzi generátorom a adaptačným sieťovým systémom (matchbox). Vďaka tejto patentovanej technike už lokálne minimum nie je žiadnou prekážkou: RF systém sa privedie na optimum a tak umožní najlepšie výsledky procesu a vysokú opakovateľnosť.
TruControl Power
Riadiaci softvér TruControl Power príjemný na obsluhu umožňuje komfortné uvedenie do prevádzky a bezpečné sledovanie VF generátora resp. celého TRUMPF RF systému počas priebehu procesu.
Voľbou vhodných komponentov systému môžete optimálne prispôsobiť VHF generátor podľa požiadaviek Vašich aplikácií.
Perfektne vzájomne zladené: TRUMPF RF systém
Plazmové procesy sa správajú ako zložitá, premenlivá záťaž, ktorá musí plynulo nasledovať zdroj prúdu cez generátor. Starajú sa o to aktívne adaptačné sieťové systémy, tzv. matchbox, ktoré v každom momente zabezpečujú presné nastavenie pre optimálnu impedanciu 50 Ohm. Vzniká tak perfektne vzájomne zosúladené systémové riešenie, TRUMPF RF systém. Pomocou rôznych prípojok, o.i. EtherCAT, môžete generátor a Matchbox veľmi jednoducho integrovať do Vášho jestvujúceho prostredia procesov a vďaka inteligentnému spojeniu generátora a adaptačného sieťového systému , takzvaného SystemPort, dosiahnuť optimálne systémové riešenie.
V závislosti od krajiny sú možné odchýlky od tohto sortimentu produktov. Zmeny v technike, výbave, cene a ponuke príslušenstva sú vyhradené. Spojte sa prosím s kontaktnou osobou u Vášho lokálneho partnera, ak si chcete overiť, či je produkt dostupný vo Vašej krajine.
