Voľba krajiny/regiónu a jazyka
Plazmové vzbudenia

TruPlasma RF Séria 1000 / 3000 (G2/13)

Stabilné procesy pre najvyššiu produktivitu

VF generátory novej generácie

Pri povrstvovaní alebo vytváraní štruktúr na povrchoch materiálov je rozhodujúce stabilné a opakovateľné dodávanie prúdu plazmy. VF generátory v TruPlasma RF Sérií 1000 / 3000 (G2/13) vybavené modernou výkonovou elektronikou na to ponúkajú najlepšie predpoklady: Vďaka ich stabilnému výstupnému výkonu a vysokej presnosti regulácie Vám zabezpečia najlepšie výsledky pri súčasne vysokej produktivite.

Vysoká presnosť a opakovateľnosť

Technológia CombineLine: optimálny výkon procesov vďaka skutočnej výstupnej impedancii 50 Ohm.

Nezávislosť od dĺžky VF kábla

Už žiadne nastavovanie dĺžky káblov – absolútna novinka vo VF oblasti!

Robustnosť a bezpečnosť

Technológia CombineLine: spoľahlivá ochrana proti odrazenému výkonu pri chybnom nastavení.

Efektivita a hospodárnosť

Účinnosti až do 80 % umožňujú zníženie nákladov na energie až o 50 %.

Koncepcia chladenia bez ventilátora

Žiadne zohrievanie alebo znečisťovanie okolitého vzduchu, preto je možné používanie v čistých prevádzkach.

Ideálne na povrchové úpravy plochých obrazoviek

VF generátory TruPlasma Série RF 1000 / 3000 (G2/13) sú ideálne na procesy plazmy ako RIE, ALD, PECVD a RF pokovovanie rozprašovaním. Tieto procesy sa používajú okrem iného pri výrobe polovodičových prvkov a mikromechanických systémov (MEMS) ako aj pri vytváraní povrchových vrstiev plochých obrazoviek a solárnych článkov.

Typická oblasť použitia: solárny priemysel

Typické oblasti použitia TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) sú pri náročných procesoch PECVD, leptania a VF pokovovania rozprašovaním v solárnom priemysle.

Výroba polovodičov

Pri výrobe polovodičov sa používajú rôzne procesy plazmy, od procesov úberu materiálu cez suché leptanie až po ťahanie zóny pri výrobe čistého kremíka. Generátory zariadenia TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) poskytujú všetky predpoklady pre stabilné a na konkrétny proces prispôsobené napájanie elektrickým prúdom, tak aby bolo možné docieliť excelentné, opakovateľné výsledky.

Optimálne prispôsobenie k Vášmu procesu

Inteligentné párovanie TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) v reálnom čase prispieva k rýchlemu a priamemu prispôsobeniu impedancie na 50 Ohm. Vďaka patentovanej technológii CombineLine sa spoľahlivo predchádza odchýlkam plazmy a znečisteniu, koncepcia chladenia bez ventilátora znižuje mieru výpadkov, zvyšuje efektivitu a umožňuje použitie v čistých prevádzkach.

Maximálna efektivita a flexibilita

Vďaka najvyšším účinnostiam až do 80 % znížite Vaše náklady na energiu v porovnaní s bežnými generátormi až o 50 %. Početné dostupné rozhrania (konfigurovateľné analógové rozhranie, RS 232/485, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) zjednodušujú integráciu do jestvujúcich zariadení, vďaka integrovaným zdrojom s ultra širokým rozsahom (200-480 VAC) nie sú potrebné technické úpravy. Kompaktná konštrukcia napriek vysokej hustote výkonu (19-palcový resp. ½-19 palcový zásuv) umožňuje integrovanie s úsporou miesta do každého výrobného zariadenia.

TRUMPF SystemPort

SystemPort umožňuje uzatvorený regulačný okruh pomocou merania RF signálu priamo na vstupe a výstupe adaptačného sieťového systému. RF generátor má k dispozícii všetky namerané hodnoty. Vďaka tomu môžete lepšie sledovať parametre procesu, chrániť adaptačný sieťový systém a zaručiť včasné rozpoznanie Arc. Kompletný RF systém je teda možné riadiť prostredníctvom jednotlivých prípojok generátora.

Rozličné doplnkové výbavy Vám umožňujú optimálne zladenie VF generátora s Vašimi aplikáciami.

Auto Frequency Tuning

Patentované riešenie Auto Freuquency Tuning umožňuje simultánne a rýchle nastavenie frekvencie a garantuje optimálnu súhru medzi generátorom a adaptačným sieťovým systémom (matchbox). Vďaka tejto patentovanej technike už lokálne minimum nie je žiadnou prekážkou: RF systém sa privedie na optimum a tak umožní najlepšie výsledky procesu a vysokú opakovateľnosť.

VF-Arc manažment

Premyslený Arc manažment je ideálnym modulom pre najlepšiu kontrolu procesov plazmy. Cielené rozpoznanie Arc garantuje najvyššiu možnú produktivitu a zároveň chráni produkt a zariadenie.

Všetky komponenty TRUMPF RF systému sú navzájom optimálne zosúladené.

Adaptačný sieťový systém pre TruPlasma Match Série 1000 (G2/13)
TruPlasma Match: sieťové systémy prispievajú k optimálnemu prenosu výkonu z generátora do výboja plazmy. Prevádzka adaptačného sieťového systému sa môže vykonávať buď samostatne alebo prostredníctvom inteligentného spojenia generátora a adaptačného sieťového systému, takzvaného SystemPort.
Hlavné oscilátory
Pomocou hlavných oscilátorov je možné stabilizovať a optimalizovať kritické synchrónne procesy plazmy. Integrovaný digitálny frekvenčný a fázový syntetizátor prispieva k vysokej stabilite frekvencie a fáz a umožňuje nastavenie dĺžky fáz po veľmi malých krokoch. Možné je zvoliť z rôznych verzií hlavných oscilátorov pre frekvenciu 13,56 MHz ako aj rôzne kombinácie frekvencií.
VF prepínač
VF prepínač umožňuje viacnásobné využitie VF generátora pre rôzne stanice procesov plazmy, napríklad na dodávku prúdu sekvenčných procesov alebo pri systémoch s rôznymi miestami prípojky. Dostupné sú rôzne VF prepínače vo dvoch výkonových triedach ako aj s 2, 3 alebo 4 výstupmi.
Koaxiálny kábel
Na prenos VF výkonu ponúka TRUMPF Hüttinger koaxiálny kábel, ktorý je skonštruovaný špeciálne na prevádzku v 50-ohmových systémoch.

Perfektne vzájomne zladené: TRUMPF RF systém

Plazmové procesy sa správajú ako zložitá, premenlivá záťaž, ktorá musí plynulo nasledovať zdroj prúdu cez generátor. Starajú sa o to aktívne adaptačné sieťové systémy, tzv. matchbox, ktoré v každom momente zabezpečujú presné nastavenie pre optimálnu impedanciu 50 Ohm. Vzniká tak perfektne vzájomne zosúladené systémové riešenie, TRUMPF RF systém. Pomocou rôznych prípojok, o.i. EtherCAT, môžete generátor a Matchbox veľmi jednoducho integrovať do Vášho jestvujúceho prostredia procesov a vďaka inteligentnému spojeniu generátora a adaptačného sieťového systému , takzvaného SystemPort, dosiahnuť optimálne systémové riešenie.

V závislosti od krajiny sú možné odchýlky od tohto sortimentu produktov. Zmeny v technike, výbave, cene a ponuke príslušenstva sú vyhradené. Spojte sa prosím s kontaktnou osobou u Vášho lokálneho partnera, ak si chcete overiť, či je produkt dostupný vo Vašej krajine.

Tieto témy by mohli zaujímať aj Vás

TRUMPF Hüttinger Worldwide
Váš kontakt vo firme TRUMPF Hüttinger

Zaujímate sa o niektorý produkt alebo potrebujete poradiť? Tu nájdete Vaše kontaktné osoby na celom svete.

Kedykoľvek sme tu pre Vás

Our IoT Services will help to maximize your up-time and makes service support even more preventative and projectable.

VHF Generator Serie 3000
Vysoká hospodárnosť v robustnom dizajne

Inovatívne, modulárne, stupňovito rozšíriteľné: Nové kompaktné VHF generátory TRUMPF Hüttinger presviedčajú vysokou hospodárnosťou a robustným dizajnom.

Kontakt
Ehab Alhawari
Sales TRUMPF Hüttinger
E-mail
Služby
Zmluvy o údržbe Zistite viac Technický zákaznícky servis Zistite viac Školenia Zistite viac Originálne diely Zistite viac
Na stiahnutie
Servis & Kontakt