TruPlasma RF Air Séria 1000

Flexibilná, robustná konštrukcia VF generátorov umožňuje nárast výrobných kapacít a zníženie prevádzkových nákladov.

Patentovaná technológia CombineLine s inteligentným párovaním v reálnom čase garantuje optimálnu pohotovosť zariadenia TruPlasma RF 1001 Air a spoľahlivo zabraňuje výkyvom plazmy a znečisteniu.

Vďaka kompaktnej konštrukcii (½-19 palcový zásuv) je VF generátor veľmi priestorov úsporný - ideálny pri nových inštaláciách a ako riešenie pri dodatočnej montáži do jestvujúcich zariadení. Integrácia je veľmi jednoduchá vďaka početným dostupný rozhraniam (konfigurovateľné analógové rozhranie, EtherNet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT).

Vďaka presnému dávkovaniu energie v krokoch po 100 mW je možné dosiahnuť pomocou TruPlasma RF 1001 Air najlepšie výsledky aj v najmodernejších, najnáročnejších aplikáciách ako ALD. Vysoko presná regulácia výkonu VF generátora garantuje najlepšiu opakovateľnosť vo vrstvách (wafer-to-wafer).

Digitálne funkcie riadenia ako Smart Auto Frequency Tuning 2.0, Arc manažment a Multi-Level pulsing umožňujú optimálne nastavenie VF generátora podľa konkrétneho procesu.

Dostupné sú rôzne výkonové triedy a frekvencie v jednotnej konštrukcii generátora, preto je možná veľmi jednoduchá výmena v prípade zmien procesu. Nie je už potrebná ani úprava dĺžky kábla.

SystemPort umožňuje uzatvorený regulačný okruh pomocou merania RF signálu priamo na vstupe a výstupe adaptačného sieťového systému, vďaka čomu má VF generátor stále k dispozícii všetky namerané hodnoty. Parametre procesu sú plynulo sledované, adaptačný sieťový systém je chránený a zaručené je včasné rozpoznanie Arc.