Voľba krajiny/regiónu a jazyka
Plazmové vzbudenia

TruPlasma Match Séria 1000 (G2/13)

Inteligentné párovanie meraním v reálnom čase

Celistvé RF systémové riešenie

Nové adaptačné sieťové systémy TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) predstavujú ideálny doplnok k VF generátorom firmy TRUMPF Hüttinger. Vďaka inteligentnému algoritmu párovania a digitálnej platforme riadenia na sledovanie procesu vzniká komplexné riešenie, v ktorom spolu optimálne pôsobia všetky komponenty – TRUMPF RF systém.

Inteligentný algoritmus párovania

Rýchle, stabilné a opakovateľné nastavenie impedancie na 50 Ohm dokonca aj v kritických procesoch.

Optimálna súhra celého systému

Pokrokový softvér a vylepšená komunikácia medzi generátorom a adaptačným sieťovým systémom.

Meranie VF výkonu v reálnom čase

Rýchle sledovanie systému pri každej zmene impedancie adaptačného sieťového systému a záťaže.

Uzatvorený regulačný okruh

Optimálne sledovanie parametrov procesu ako aj včasné rozpoznanie Arc.

Kontrola nad procesom príjemná na obsluhu

Grafická ovládacia plocha a efektívne nástroje (Smithov diagram, osciloskop v reálnom čase).

Výroba polovodičov, solárnych článkov a plochých obrazoviek

Pri výrobe polovodičov, solárnych článkov a plochých obrazoviek sú rozhodujúce stabilné procesy plazmy. V kombinácii s VF generátormi firmy TRUMPF Hüttinger ponúkajú adaptačné sieťové systém TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) komplexné riešenie pre najvyššiu stabilitu procesu a produktivitu.

Nanášanie vrstiev vytvrdzujúcich povrch a vrstiev chrániacich pred opotrebením

Po nanesení funkčných vrstiev získajú nadmerne namáhané obrobky zvýšenú mechanickú tvrdosť ako aj lepšiu tepelnú a chemickú stabilitu. Adaptačné sieťové systémy zariadenia TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) zabezpečujú v spolupráci s VF generátorom firmy TRUMPF Hüttinger perfektnú kvalitu nanesenej vrstvy.

Úber a povlakovanie povrchov materiálu

Adaptačné sieťové systémy zariadenia TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) je možné použiť vo všetkých bežných procesoch plazmy na nanášanie vrstiev a úber materiálu z povrchov – napríklad pri leptaní plazmou, reaktívnom ionovom leptaní, ALD, PECVD, RF pokovovaní rozprašovaním alebo fotolak-plazmovom spopolnení. V spolupráci s VF generátorom firmy TRUMPF Hüttinger sa pritom dosahujú optimálne výsledky procesu.

Perfektná kontrola procesu v ktorúkoľvek dobu

Matchbox neustále prispieva k rýchlejšiemu a priamemu nastaveniu impedancie na 50 Ohm – tým je zaručené stále plné podávanie výkonu VF generátora do procesu. Komunikácia medzi adaptačným sieťovým systémom a generátorom umožňuje optimálne sledovanie procesu a včasné rozpoznanie Arc.

Prehľad všetkých parametrov

Meranie VF vstupného a výstupného výkonu v reálnom čase signalizuje dynamické zmeny impedancie, snímače chladenia umožňujú spoľahlivé predpovedanie stratového výkonu. Vďaka grafickému ovládaciemu softvéru s komplexnými možnosťami zobrazovania (smithova tabuľka, osciloskop v reálnom čase) máte stále prehľad o všetkých podstatných parametroch procesu.

TRUMPF SystemPort

SystemPort umožňuje uzatvorený regulačný okruh pomocou merania RF signálu priamo na vstupe a výstupe adaptačného sieťového systému. RF generátor má k dispozícii všetky namerané hodnoty. Vďaka tomu môžete lepšie sledovať parametre procesu, chrániť adaptačný sieťový systém a zaručiť včasné rozpoznanie Arc. Kompletný RF systém je teda možné riadiť prostredníctvom jednotlivých prípojok generátora.

VF meranie prúdu

Vysoko presné AC meranie prúdu na detekciu anomálií plazmy, umiestnené v adaptačnom sieťovom systéme blízko procesu, priamo na komore.

Rozhrania

Na želanie sú k dispozícii doplnkové rozhrania ako Analóg/Digitál, PROFIBUS a EtherCAT. Štandardom je EtherNet, SystemPort a RS232/485.

Arc manažment

Premyslený Arc manažment je ideálnym modulom pre najlepšiu kontrolu procesov plazmy. Cielené rozpoznanie Arc garantuje najvyššiu možnú produktivitu a zároveň chráni produkt a zariadenie.

Grafický ovládací softvér

Komplexné grafické zobrazenia umožňujú rozsiahlu kontrolu všetkých podstatných parametrov procesu. Impedancia záťaže a adaptačného sieťového systému sa zobrazuje prostredníctvom smithovho diagramu, VF vstupný a výstupný výkon vrátane polohy frekvencie a fázy pomocou osciloskopu reálneho času.

TruControl Power

Riadiaci softvér TruControl Power príjemný na obsluhu umožňuje komfortné uvedenie do prevádzky a bezpečné sledovanie VF generátora resp. celého TRUMPF RF systému počas priebehu procesu.

Grafický ovládací softvér

Komplexné grafické zobrazenia umožňujú rozsiahlu kontrolu všetkých podstatných parametrov procesu. Impedancia záťaže a adaptačného sieťového systému sa zobrazuje prostredníctvom smithovho diagramu, VF vstupného a výstupného výkonu vrátane uloženia frekvencie a fázy pomocou osciloskopu reálneho času.

Hlavné oscilátory

Pomocou hlavných oscilátorov je možné stabilizovať a optimalizovať kritické synchrónne procesy plazmy. Integrovaný digitálny frekvenčný a fázový syntetizátor prispieva k vysokej stabilite frekvencie a fáz a umožňuje nastavenie dĺžky fáz po veľmi malých krokoch. Možné je zvoliť z rôznych verzií hlavných oscilátorov pre frekvenciu 13,56 MHz ako aj rôzne kombinácie frekvencií.

Koaxiálny kábel

Na prenos VF výkonu ponúka TRUMPF Hüttinger koaxiálny kábel, ktorý je skonštruovaný špeciálne na prevádzku v 50-ohmových systémoch.

Optimálne zvládnutie procesu plazmy

Plazmové procesy sa správajú ako zložitá, premenlivá záťaž, ktorá musí plynulo nasledovať zdroj prúdu cez generátor. Starajú sa o to aktívne adaptačné sieťové systémy, tzv. matchbox, ktoré v každom momente zabezpečujú presné nastavenie pre optimálnu impedanciu 50 Ohm. Vzniká tak perfektne vzájomne zosúladené systémové riešenie, TRUMPF RF systém. Pomocou rôznych prípojok, o.i. EtherCAT, môžete generátor a Matchbox veľmi jednoducho integrovať do Vášho jestvujúceho prostredia procesov a vďaka inteligentnému spojeniu generátora a adaptačného sieťového systému , takzvaného SystemPort, dosiahnuť optimálne systémové riešenie.

V závislosti od krajiny sú možné odchýlky od tohto sortimentu produktov. Zmeny v technike, výbave, cene a ponuke príslušenstva sú vyhradené. Spojte sa prosím s kontaktnou osobou u Vášho lokálneho partnera, ak si chcete overiť, či je produkt dostupný vo Vašej krajine.

Tieto témy by mohli zaujímať aj Vás

TRUMPF Hüttinger Worldwide
Váš kontakt vo firme TRUMPF Hüttinger

Zaujímate sa o niektorý produkt alebo potrebujete poradiť? Tu nájdete Vaše kontaktné osoby na celom svete.

Kedykoľvek sme tu pre Vás

Our IoT Services will help to maximize your up-time and makes service support even more preventative and projectable.

Hochfrequenzgenerator TruPlasma RF 3024
Rozdelenie stratového výkonu na polovicu

Pomocou týchto RF generátorov idete doslova na istotu: TruPlasma RF Série 3000 sa vyznačuje robustnou konštrukciou a najvyššou účinnosťou.

Kontakt
Ehab Alhawari
Sales TRUMPF Hüttinger
E-mail
Služby
Zmluvy o údržbe Zistite viac Technický zákaznícky servis Zistite viac Školenia Zistite viac Originálne diely Zistite viac
Na stiahnutie
Servis & Kontakt