Voľba krajiny/regiónu a jazyka
TRUMPF Laser Amplifier na výrobu vysoko výkonných čipov
Laser CO2

Poskytuje laserovým impulzom základ pre výrobu mikročipov budúcnosti.

Litografia EUV ako aktivátor digitálneho veku

EUV litografia vyhráva preteky o výrobnú metódu mikročipov budúcnosti. Priemysel polovodičov hľadal mnoho rokov cenovo efektívny proces vhodný pre masovú výrobu, pomocou ktorého je možné osvitovať ešte menšie štruktúry na kremíkových doštičkách. Formou partnerstva vyvinuli ASML, Zeiss a TRUMPF technológiu, na využitie extrémne ultrafialového žiarenia (EUV) s vlnovou dĺžkou 13,5 nanometrov pre priemyselné využitie: Vo vákuovej komore vystreľuje generátor kvapiek 50.000 najmenších cínových kvapiek za sekundu. Každá z týchto kvapiek je zasiahnutá jedným z 50.000 laserových impulzov a mení ich na plazmu. Týmto vzniká svetlo EUV, ktoré je zrkadlami nasmerované na doštičku, ktorú je potrebné osvitovať. Laserový impulz pre ožarovanie plazmou poskytuje pulzný CO2 laserový systém vyvinutý firmou TRUMPF - TRUMPF Laser Amplifier.

Z niekoľkých Wattov na 40 Kilowattov

TRUMPF Laser Amplifier postupne zosilňuje laserový impulz viac ako 10.000-násobne.

Efektívne a bezpečné

Vysielaním predradeného a hlavného impulzu je možné prenášať plný výkon z Laser Amplifiera na kvapky cínu.

Nové využitie pre laser CO2

Základ vysoko výkonných laserových systémov je laser CO2 v prevádzke cw. TRUMPF tým vytvára nové využitie technológie.

Veľká sieť tvorená špecialistami

V dlhoročnej, tesnej spolupráci dotiahli TRUMPF, ASML a ZEISS technológiu extrémne ultrafialového žiarenia EUV do priemyslu.

Diely

… obsahuje Laser Amplifier.

Meter

... káble sú zabudované do systému.

Kilo

... zahŕňa celkovú hmotnosť.

Základné komponenty zariadenia TRUMPF Laser Amplifier

Tieto témy by mohli zaujímať aj Vás

Zbierka článkov o litografii EUV
V zrkadle médií: Litografia EUV

Prečítajte si viac o téme EUV litografie v našich hlavných článkoch z odbornej a verejnej tlače.

Visual Elektronik
Elektronika

Od obrábania laserom až po výrobu umelých kryštálov: TRUMPF dodáva základné technológie pre výrobu výkonných polovodičov v odvetví elektroniky.

Laser CO2

Extrémne spoľahlivé, aj čo sa týka robustnosti - CO2 lasery TruFlow firmy TRUMPF režú  zvárajú vo výrobných halách po celom svete.

Kontakt
Hochleistungslasersysteme EUV-Lithografie
E-mail
Servis & Kontakt