Идеальный вариант для технологий HIPIMS
Генераторы TruPlasma Highpulse серии 4000 (G2) можно без каких-либо изменений использовать в качестве альтернативы генераторам постоянного тока для ионно-плазменного распыления в имеющихся магнетронных системах. С их помощью возможно изготовление твердосплавных покрытий повышенной стойкости к коррозии и износу, поэтому такие генераторы идеально подходят для магнетронного распыления импульсами высокой мощности.
Бесперебойная подача импульсов пиковой мощности до 4 мегаватт создает плазму экстремально высокой плотности с мощными ионными потоками.
Простая адаптация к имеющимся катодным системам и условиям технологического процесса позволяет без труда интегрировать генератор в работающую установку.
Новейшая разработка в сфере импульсных процессов вакуумного напыления — технология HIPIMS — создает твердосплавные покрытия повышенной стойкости к коррозии и износу.
Возможно применение в системах постоянного тока, при этом дополнительный генератор постоянного тока не требуется.
![](https://media.trumpf.com/m/68ea88b46f5e4b7e/original/Generator-der-TruPlasma-Highpulse-Serie-4000-G2-im-Einsatz-512x341.jpg?w=1170&h=677)
Твердосплавные покрытия
Нанесение функциональных слоев на заготовки, испытывающие большие нагрузки, способствует их поверхностной закалке и повышает трение сцепления, термическую и химическую устойчивость. Генераторы TruPlasma Highpulse серии 4000 (G2) обеспечивают стабильность процессов плазменной обработки и, таким образом, выдающееся качество слоев.
![](https://media.trumpf.com/m/57b3fc505da871c8/original/Solarzellenherstellung-Derivat-512-341.jpg?w=1170&h=677)
Полупроводники/фотоэлектрическая энергетика
В сфере фотоэлектрической энергетики и производства полупроводников очень часто требуются системы подачи энергии, изготовленные по спецификации клиента. Генераторы TruPlasma Highpulse серии 4000 (G2) можно отрегулировать в соответствии с текущим процессом, чтобы добиться отличных характеристик нанесения покрытия и высокой производительности.
![](https://media.trumpf.com/m/12aea89b8c260213/original/Ideal-fur-Groflachenbeschichtung-512x341.jpg?w=1170&h=677)
Покрытие стеклянных поверхностей
Для нанесения слоев на поверхности из архитектурного стекла большой площади с применением вакуумного напыления требуется стабильная технологическая система электропитания. Генераторы TruPlasma Highpulse серии 4000 (G2) создают идеальные условия для получения высококачественного покрытия.
![](https://media.trumpf.com/m/104558eb809fe2e6/original/Architekturglas-Derivat-3x2.jpg?w=708&h=472)
Оптимальные результаты технологического процесса
Лазер высокой пиковой мощности создает высокоионизированную плазму и обеспечивает мощный ионный поток. Это позволяет изготавливать надежно сцепленные и герметичные пленки без капель. В сочетании с поляризованными подложками генераторы TruPlasma Highpulse серии 4000 (G2) дают превосходные результаты при травлении и заполнении бороздок.
![](https://media.trumpf.com/m/1740de990616895c/original/Arc-Management-16to9.jpg?w=708&h=472)
Цифровая система управления дугой
Возможность настройки длительности и частоты импульсов, расширенные параметры мощности и цифровая система управления дугой с очень низким уровнем энергии позволяют выполнять ионно-плазменное распыление без капель, сводят к минимуму дефекты пленки и гарантируют высокое качество слоев и высокую скорость осаждения.
![](https://media.trumpf.com/m/461373d729cabb9c/original/HF-Generator-fur-Parallelschwingkreise.jpg?w=708&h=472)
Великолепные покрытия
Высокий уровень энергии и напряжение до 2 кВ позволяют изготавливать высококачественные покрытия как в небольших лабораториях, так и на крупных промышленных установках. Импульсы длительностью до 5 мс и частота до 10 кГц повышают скорость осаждения и помогают снизить общие эксплуатационные расходы.
![](https://media.trumpf.com/m/344c374c69f96836/original/Solarzellenherstellung-16to9.jpg?w=708&h=472)
Высокая стабильность технологического процесса
Регулировка мощности с настраиваемой частотой обеспечивает стабильность параметров осаждения даже во время сложных реактивных процессов. Процесс остается стабильным в течение многих часов и дней без необходимости вмешательства.
![](https://media.trumpf.com/m/13fd42520cafdb33/original/Eine-kompakte-Einheit-TruPlasma-Highpulse-G2-3x2.jpg?w=708&h=472)
Компактный блок
Генераторы серии TruPlasma Highpulse представляют собой единый блок компактных размеров. Внешний источник питания постоянного тока не требуется, охлаждение полностью водяное, что позволяет устанавливать их в чистых помещениях.
Различные опции дают возможность оптимальной адаптации генераторов TruPlasma Highpulse серии 4000 (G2) к вашей цели применения.
Цифровая система управления дугой с очень низким уровнем энергии дуги повышает качество слоев и скорость осаждения.
![](https://media.trumpf.com/m/6ed363b3d0058ce/original/Grafische-Bediensoftware-PVD-Power.png?w=488&h=230)
PVD Power
Удобное для эксплуатации многоязычное программное обеспечение PVD Power предлагает разнообразные возможности управления, изменения конфигурации и диагностики с целью оптимизации качества технологических процессов и эффективного устранения неисправностей: индикация фактических значений всех существенных технологических параметров, предупреждений и аварийных сообщений, предварительная установка заданных значений оператором, регистрация и визуализация важнейших производственных параметров с точным указанием времени (функция осциллографа).
В зависимости от страны, возможны отклонения от представленного ассортимента продукции и этих данных. Компания оставляет за собой право на внесения изменений в технологию, оснащение, цену и принадлежности. Свяжитесь с вашим контактным лицом, чтобы узнать, доступен ли данный продукт в вашей стране.