Epitaxia reprezintă procesul de obținere a unor straturi monocristaline, de exemplu, din siliciu, din substraturi monocristaline din același material. Substraturile se află pe un susceptor de grafit încălzit inductiv – astfel, se impun cerințe foarte ridicate privind omogenitatea temperaturii. Epitaxia se utilizează, printre altele, la fabricarea LED-urilor. Generatoarele de frecvență medie de la TRUMPF Hüttinger furnizează energia de proces necesară în mod fiabil și stabil.
Epitaxie
Creșterea cea mai pură strat cu strat
Contact