În cadrul acestui procedeu, laserul vaporizează materialul cu un nivel de topire cât mai scăzut posibil. Vaporii de material generează în rostul de debitare o presiune ridicată, prin intermediul căreia topitura este ejectată în sus și în jos. Gazul de proces, azotul, argonul sau heliul, ecranează față de mediul ambiant doar suprafețele de debitare. Astfel, muchiile de debitare rămân neoxidate. Din acest motiv, este suficientă o presiune a gazului de la 1 până la 3 bari.
Vaporizarea metalelor necesită o cantitate mai mare de energie decât topirea acestora. De aceea, debitarea prin sublimare presupune puteri laser ridicate și este mai lentă decât alte procedee de debitare. Astfel, sunt generate muchii de debitare de calitate superioară.