Excitarea plasmei

TruPlasma RF seria 1000/3000 (G2/13)

Procese stabile pentru productivitate maximă

Închidere

Generatoare HF din noua generație

Acoperirea sau structurarea suprafețelor depind în mod determinant de o alimentare electrică stabilă și reproductibilă a plasmei. În acest scop, generatoarele HF TruPlasma RF seria 1000/3000 (G2/13), dotate cu electronică modernă de putere, oferă cele mai bune condiții: grație puterii stabile de ieșire și preciziei înalte a reglării, acestea asigură cele mai bune rezultate la aceeași productivitate ridicată.

Precizie înaltă și reproductibilitate

Tehnologie CombineLine: putere optimă a procesului datorită impedanței reale de ieșire de 50 ohmi.

Independență în raport cu lungimea cablului HF

Nu mai este necesară ajustarea lungimii cablului - o noutate absolută în domeniul HF!

Robustețe și siguranță

Tehnologie CombineLine: protecție fiabilă împotriva puterii reflectate în cazul unei adaptări eronate.

Eficiență și rentabilitate

Randamentele de până la 80 % permit o reducere a costurilor energetice cu până la aproximativ 50 %.

Concept de răcire fără ventilator

Fără încălzire sau poluarea aerului ambiant: sistemul poate fi utilizat în încăperi sterile.

Ideal pentru aplicarea unui strat de acoperire pe ecrane plate

Generatoarele HF TruPlasma seria RF 1000/3000 (G2/13) sunt ideale pentru procese cu plasmă, precum pulverizarea RIE, ALD, PECVD și RF. Aceste procese sunt utilizate, printre altele, la fabricarea componentelor semiconductoare și a microsistemelor electromecanice (MEMS), precum și pentru aplicarea unui strat de acoperire pe ecrane plate și celule solare.

Domeniul tipic de utilizare: industria solară

Domeniile tipice de utilizare ale TruPlasma RF seria 1000/3000 (G2/13) sunt procesele de pulverizare complexe PECVD, de gravură și HF din industria solară.

Fabricarea semiconductorilor

La fabricarea semiconductorilor se utilizează diferite procese cu plasmă, de la procese de decapare prin gravare uscată până la flotare zonală, la producerea de siliciu pur. Generatoarele TruPlasma RF seria 1000/3000 (G2/13) îndeplinesc toate condițiile pentru o alimentare electrică stabilă și optimă pentru fiecare proces, în vederea obținerii unor rezultate excelente, în mod repetat.

Adaptare optimă la procesul dumneavoastră

Adaptarea inteligentă în timp real a TruPlasma RF seria 1000/3000 (G2/13) asigură ajustarea rapidă și directă a impedanței la 50 ohmi. Fluctuațiile plasmei și contaminarea sunt împiedicate în mod fiabil prin tehnologia brevetată CombiLine, iar conceptul de răcire fără ventilator scade rata defecțiunilor, crește eficiența și permite utilizarea în încăperi sterile.

Eficiență și flexibilitate maximă

Randamentul maxim de 80 % permite scăderea costurilor energetice, comparativ cu generatoarele tradiționale, cu până la 50 %. Numeroasele interfețe disponibile (interfață analogică configurabilă, RS 232/485, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) facilitează integrarea în instalațiile existente; grație elementelor de rețea integrate cu interval ultra-larg (200-480 V CA), nu sunt necesare ajustări tehnice. În ciuda densității de putere ridicate, forma constructivă compactă (modul de 19 țoli, respectiv 19 ½ țoli) permite o integrare cu economie de spațiu în orice instalație de producție.

SystemPort TRUMPF

SystemPort permite funcționarea închisă a circuitului de reglare prin măsurarea semnalului RF direct la intrarea și ieșirea Matchbox. Pentru generatorul RF sunt disponibile valorile măsurate complete. Astfel, parametrii de proces pot fi monitorizați mai bine, Matchbox poate fi mai bine protejată și poate fi garantată o recunoaștere timpurie a arcului. De asemenea, sistemul RF complet poate fi comandat prin intermediul unei interfețe de generator individuale.

Diversele opțiuni permit adaptarea optimă a generatorului HF la aplicația dumneavoastră.

Auto Frequency Tuning

Soluția brevetată Auto Frequency Tuning permite adaptarea simultană și rapidă a frecvenței și garantează o coordonare optimă între generator și Matchbox. Prin intermediul acestei tehnologii brevetate, un nivel minim de dotare la nivel local nu mai reprezintă un obstacol: sistemul RF este optimizat, permițând cele mai bune rezultate de proces și o reproductibilitate ridicată.

Gestionarea arcului HF

Gestionarea atent elaborată a arcului reprezintă modulul ideal pentru un control optim al proceselor cu plasmă. Recunoașterea specifică a arcului garantează productivitatea maximă posibilă, protejând în același timp produsul și instalația dumneavoastră.

Toate componentele sistemului RF TRUMPF sunt armonizate optim între ele.

Matchbox TruPlasma Match seria 1000 (G2/13)

Rețelele de adaptare TruPlasma Match asigură transferul optim de putere de la generator la descărcarea plasmei. Operarea Matchbox-ului se poate realiza independent sau prin intermediul unei conexiuni inteligente generator-Matchbox, așa-numitul SystemPort.

Oscilatoare master

Cu ajutorul oscilatoarelor master, procesele sincrone critice cu plasmă sunt stabilizate și optimizate. Un sintetizator de frecvență și faze asigură o stabilitate ridicată a frecvenței și a fazelor și permite reglarea poziției fazelor la o lungime foarte mică a pașilor. Pentru frecvența de 13,56 MHz, precum și diferite combinații de frecvență, puteți alege între diferite modele de oscilatoare master.

Comutator HF

Un comutator HF permite utilizarea multiplă a generatorului HF pentru diferite stații de procese cu plasmă, de exemplu, pentru alimentarea electrică a proceselor secvențiale sau la sisteme cu diferite puncte de alimentare. Sunt disponibile diferite comutatoare HF din două clase de putere, precum și cu 2, 3 sau 4 ieșiri.

Cabluri coaxiale

Pentru transmiterea puterii HF, TRUMPF Hüttinger pune la dispoziție cabluri coaxiale, concepute special pentru utilizarea în sisteme cu 50 ohmi.

Perfect compatibil: sistemul RF TRUMPF

Procesele cu plasmă se comportă precum o sarcină complexă, variabilă, pe care alimentarea electrică prin intermediul generatorului trebuie să o monitorizeze în mod continuu. Acestea creează rețele de adaptare, așa-numitele Matchbox, care asigură în permanență adaptarea precisă la o impedanță optimă de 50 ohmi. Astfel, rezultă o soluție de sistem perfect coordonată, sistemul RF TRUMPF. Prin intermediul unor interfețe diferite, de ex. EtherCAT, puteți integra în mod facil generatorul și Matchbox și, prin intermediul unei conexiuni inteligente generator-Matchbox, așa-numitul SystemPort, poate rezulta o soluție optimizată de sistem.

În funcție de țară, este posibil ca această gamă de produse și aceste specificații să varieze. Ne rezervăm dreptul de a efectua modificări tehnice, privind dotările, prețul și oferta de accesorii. Vă rugăm să luați legătura cu persoana dumneavoastră de contact de la nivel local pentru a afla dacă produsul este disponibil în țara dumneavoastră.