Soluție de sistem RF: ca turnat
Noile Matchbox-uri TruPlasma Match seria 1000 (G2/13) reprezintă completarea ideală pentru generatoarele HF de la TRUMPF Hüttinger. Datorită algoritmului inteligent de adaptare și platformei digitale de comandă pentru monitorizarea procesului, rezultă o soluție cuprinzătoare, în cadrul căreia toate componentele colaborează în mod optim - sistemul RF TRUMPF.
Adaptare rapidă, stabilă și reproductibilă a impedanței la 50 ohmi, chiar și în procese critice.
Software avansat și comunicație îmbunătățită între generator și Matchbox.
Reglare rapidă a sistemului la fiecare modificare de impedanță a Matchbox-ului și sarcinii.
Monitorizare optimă a parametrilor procesului, precum și recunoaștere timpurie a arcului.
Interfață grafică a utilizatorului și instrumente eficiente (diagrama Smith, osciloscop pentru timp real).
Fabricația de semiconductori, celule solare și ecrane plate
Procesele cu plasmă stabile joacă un rol decisiv la fabricația de semiconductori, celule solare și ecrane plate. În asociere cu generatoarele HF de la TRUMPF Hüttinger, Matchbox-urile TruPlasma Match seria 1000 (G2/13) oferă o soluție cuprinzătoare pentru o stabilitate a procesului și o productivitate maximă.
Aplicarea straturilor din materiale dure și de protecție împotriva uzurii
Prin aplicarea straturilor funcționale, piesele brute puternic solicitate beneficiază de o duritate mecanică ridicată, precum și de o mai bună stabilitate termică și chimică. Matchbox-urile TruPlasma Match seria 1000 (G2/13), în asociere cu un generator HF de la TRUMPF Hüttinger, asigură o calitate perfectă a stratului.
Îndepărtarea și acoperirea cu straturi a suprafețelor
Matchbox-urile TruPlasma Match seria 1000 (G2/13) pot fi utilizate în toate procesele cu plasmă obișnuite, pentru acoperirea și îndepărtarea straturilor de pe suprafețe - de exemplu, gravură cu plasmă, gravură cu ioni reactivi, ALD, PECVD, pulverizare RF sau formare de cenușă cu plasmă. În cooperare cu un generator HF de la TRUMPF Hüttinger se obțin la aceasta rezultate optime ale procesului.
Control perfect al procesului în fiecare moment
Matchbox asigură în permanență adaptarea rapidă și directă a impedanței la 50 ohmi - astfel, se garantează întotdeauna funcționarea generatorului HF la putere completă în cadrul procesului. Comunicația wireless dintre Matchbox și generator permite o monitorizare optimă a procesului și o recunoaștere timpurie a arcului.
Monitorizarea tuturor parametrilor
Măsurarea în timp real a puterii de intrare și de ieșire HF semnalizează modificări dinamice ale impedanței; senzorii de răcire permit anticiparea fiabilă a pierderii de putere. Datorită software-ului de operare grafic cu opțiuni de prezentare complexe (diagrama Smith, osciloscop pentru timp real), puteți monitoriza în permanență toți parametrii relevanți ai procesului.
SystemPort TRUMPF
SystemPort permite funcționarea închisă a circuitului de reglare prin măsurarea semnalului RF direct la intrarea și ieșirea Matchbox. Pentru generatorul RF sunt disponibile valorile măsurate complete. Astfel, parametrii de proces pot fi monitorizați mai bine, Matchbox poate fi mai bine protejată și poate fi garantată o recunoaștere timpurie a arcului. De asemenea, sistemul RF complet poate fi comandat prin intermediul unei interfețe de generator individuale.
Măsurare precisă a curentului CA pentru detectarea anomaliilor plasmei, plasată în Matchbox în apropierea procesului, direct la nivelul camerei.
Ca interfețe opționale sunt disponibile interfețe analogice/digitale, PROFIBUS și EtherCAT. Interfețe standard sunt EtherNet, SystemPort și RS232/485.
Gestionarea atent elaborată a arcului reprezintă modulul ideal pentru un control optim al proceselor cu plasmă. Recunoașterea specifică a arcului garantează productivitatea maximă posibilă, protejând în același timp produsul și instalația dumneavoastră.
Software de operare grafic
Reprezentările grafice complexe permit un control amplu al tuturor parametrilor relevanți ai procesului. Impedanțele sarcinii și a Matchbox-ului sunt vizualizate prin intermediul unei diagrame Smith, iar puterea de intrare și de ieșire HF, inclusiv frecvența și poziția fazelor, cu ajutorul unui osciloscop pentru timp real.
TruControl Power
Software-ul de comandă TruControl Power ușor de utilizat permite punerea în funcțiune confortabilă și monitorizarea în siguranță a generatorului HF, respectiv a întregului sistem RF TRUMPF în cadrul procesului aflat în derulare.
Reprezentările grafice complexe permit un control amplu al tuturor parametrilor relevanți ai procesului. Impedanțele sarcinii și a Matchbox-ului sunt vizualizate prin intermediul unei diagrame Smith, iar puterea de intrare și de ieșire HF, inclusiv frecvența și poziția fazelor, cu ajutorul unui osciloscop pentru timp real.
Cu ajutorul oscilatoarelor master, procesele sincrone critice cu plasmă sunt stabilizate și optimizate. Un sintetizator de frecvență și faze asigură o stabilitate ridicată a frecvenței și a fazelor și permite reglarea poziției fazelor la o lungime foarte mică a pașilor. Pentru frecvența de 13,56 MHz, precum și diferite combinații de frecvență, puteți alege între diferite modele de oscilatoare master.
Un comutator HF permite utilizarea multiplă a generatorului HF pentru diferite stații de procese cu plasmă, de exemplu, pentru alimentarea electrică a proceselor secvențiale sau la sisteme cu diferite puncte de alimentare. Sunt disponibile diferite comutatoare HF din două clase de putere, precum și cu 2, 3 sau 4 ieșiri.
Pentru transmiterea puterii HF, TRUMPF Hüttinger pune la dispoziție cabluri coaxiale, concepute special pentru utilizarea în sisteme cu 50 ohmi.
Controlare optimă a procesului cu plasmă
Procesele cu plasmă se comportă precum o sarcină complexă, variabilă, pe care alimentarea electrică prin intermediul generatorului trebuie să o monitorizeze în mod continuu. Acestea creează rețele de adaptare, așa-numitele Matchbox, care asigură în permanență adaptarea precisă la o impedanță optimă de 50 ohmi. Astfel, rezultă o soluție de sistem perfect coordonată, sistemul RF TRUMPF. Prin intermediul unor interfețe diferite, de ex. EtherCAT, puteți integra în mod facil generatorul și Matchbox și, prin intermediul unei conexiuni inteligente generator-Matchbox, așa-numitul SystemPort, poate rezulta o soluție optimizată de sistem.
În funcție de țară, este posibil ca această gamă de produse și aceste specificații să varieze. Ne rezervăm dreptul de a efectua modificări tehnice, privind dotările, prețul și oferta de accesorii. Vă rugăm să luați legătura cu persoana dumneavoastră de contact de la nivel local pentru a afla dacă produsul este disponibil în țara dumneavoastră.
