Prima alegere pentru aplicațiile HIPIMS
Generatoarele TruPlasma Highpulse seria 4000 (G2) pot fi utilizate drept alternativă la generatoarele cu pulverizare în regim CC în sisteme tip magnetron deja existente, fără modificări. Acestea furnizează straturi de acoperire cu materiale dure deosebit de rezistente la coroziune și uzură, reprezentând astfel prima alegere pentru aplicații High Power Impulse Magnetron Sputtering.
Puterile de vârf optime de până la 4 megawați generează densități extreme ale plasmei cu fluxuri ridicate de ioni.
Adaptarea facilă la sisteme catodice și condiții de proces deja existente permite o conectare optimă a aparatelor.
În calitate de cea mai recentă inovație din domeniul proceselor de pulverizare PVD cu impulsuri, HIPIMS furnizează straturi de acoperire cu materiale dure deosebit de rezistente la coroziune și uzură.
Posibilitate de utilizare și în modul CC, nu este necesar un generator suplimentar de curent continuu.
Straturi de acoperire cu materiale dure
Prin aplicarea straturilor funcționale, piesele brute puternic solicitate beneficiază de o duritate a marginilor și o frecare de aderență ridicate precum și de o mai bună stabilitate termică și chimică. Generatoarele TruPlasma Highpulse seria 4000 (G2) asigură un proces extrem de stabil al plasmei și astfel o calitate excepțională a stratului.
Semiconductori/industria fotovoltaică
În industria fotovoltaică și a semiconductorilor există numeroase domenii de utilizare pentru energia de proces adaptată. Generatoarele TruPlasma Highpulse seria 4000 (G2) pot fi adaptate optim în funcție de proces și permit parametri excelenți ai straturilor de acoperire, precum și o productivitate ridicată.
Straturi de acoperire pentru sticlă
Aplicarea unor straturi de acoperire pe suprafețe mari din sticlă arhitecturală în cadrul unui proces cu plasmă PVD impune cerințe deosebit de ridicate în ceea ce privește alimentarea electrică a procesului. Generatoarele TruPlasma Highpulse seria 4000 (G2) oferă condiții ideale pentru un rezultat de înaltă calitate a stratului de acoperire.
Rezultate optime ale procesului
Vârfurile de putere generează plasmă ionizată concentrată și fac posibil un flux crescut de ioni. În acest mod pot fi obținute pelicule coerente și etanșe, fără picături. În combinație cu configurațiile de substrat polarizate, generatoarele TruPlasma Highpulse seria 4000 (G2) oferă rezultate superioare pentru aplicații precum gravare și umplerea crestăturilor.
Gestionarea complet digitală a arcului
Duratele și frecvențele configurabile ale impulsului, parametrii de putere extinși și gestionarea complet digitală, cu energie redusă a arcului permite o pulverizare fără stropi și defecte minime la nivelul peliculei, garantând o calitate înaltă a straturilor și viteze de depunere ridicate.
Acoperire excelentă
Un nivel ridicat de energie și tensiunile înalte de până la 2 kV permit realizarea unor straturi de acoperire de înaltă calitate - atât în laboratoarele mici, cât și în marile instalații industriale. Impulsurile de până la 5 ms și frecvențele de până la 10 kHz cresc rata de depunere și contribuie la scăderea costurilor totale de operare.
Stabilitate a procesului ridicată
Reglarea puterii și frecvența ajustabilă asigură că parametrii de depunere rămân constanți, chiar și în cazul proceselor reactive complexe. În acest mod, procesele rămân stabile pe durata a mai multe ore sau zile, fără a fi necesară o intervenție.
O unitate compactă
Generatoarele din seria TruPlasma Highpulse sunt o unitate de dimensiuni compacte. Nu necesită o sursă de curent continuu externă, sunt răcite în totalitate cu apă și permit efectuarea lucrărilor într-un spațiu curat.
Varietatea de opțiuni garantează adaptarea optimă a Tru Plasma Highpulse seria 4000 (G2) la aplicația dumneavoastră.
Gestionarea complet digitală, cu energie redusă a arcului permite o calitate înaltă a straturilor și viteze de depunere ridicate.
PVD Power
Software-ul PVD Power ușor de utilizat, disponibil în mai multe limbi, vă oferă posibilități multiple de operare, configurare și diagnosticare pentru optimizarea calității procesului și remedierea eficientă a erorilor: afișarea valorilor reale pentru toți parametrii relevanți ai procesului, precum și a avertismentelor și a mesajelor de alarmă, specificarea valorilor nominale de către utilizator și înregistrarea și vizualizarea parametrilor tehnologici importanți cu o rezoluție temporală ridicată (funcție osciloscop).
În funcție de țară, este posibil ca această gamă de produse și aceste specificații să varieze. Ne rezervăm dreptul de a efectua modificări tehnice, privind dotările, prețul și oferta de accesorii. Vă rugăm să luați legătura cu persoana dumneavoastră de contact de la nivel local pentru a afla dacă produsul este disponibil în țara dumneavoastră.
