Um laser de impulso curto com densidade de potência elevada aplica a energia ao material em muito pouco tempo. Isso faz com que o material derreta e evapore. Quanto mais elevada a energia de impulso, mais material é derretido e evaporado. Durante a evaporação, o volume de material no furo aumenta repentinamente e é gerada uma pressão elevada. Essa pressão de vapor expulsa o material derretido do furo.
O processamento com lasers de impulsos ultracurtos, na faixa de picossegundos, apresenta uma particularidade. Nesse caso, o material é evaporado por sublimação a partir do estado sólido sem que ocorra fusão o componente não é aquecido.
Ao longo dos anos, diversos processos de perfuração foram desenvolvidos a partir desse princípio básico:
