Com plasmas indutivamente acoplados (ICP), é possível atingir temperaturas de até 10.000 °C à pressão atmosférica. Nesse processo, gás de plasma deve ser deslocado para o quarto estado da matéria. Para começar , é necessária uma fonte de ignição térmica ou de alta tensão . Esta gera os primeiros portadores de carga livres, os quais são, em seguida, acelerados no campo magnético do indutor com uma alta tensão, levando a uma avalanche de ionização do gás de plasma. Como consequência, surge um plasma condutor de eletricidade, que a seguir pode ser aquecido por indução.
Os gases de plasma comuns são o argônio, nitrogênio, hidrogênio e oxigênio e suas misturas. Algumas importantes aplicações são a esferoidização de partículas de metal, a ativação de superfícies de vidro, a limpeza (refino) da fusão de silício, a produção de ligas de metal-cerâmica e a espectroscopia. Nestas aplicações, os geradores com tecnologia de tubo da TRUMPF Hüttinger fornecem, com confiabilidade, até 120kW de energia em frequências de 2  - 3 MHz.