O gerador de alta frequência refrigerado a ar TruPlasma RF 1001 Air fornece energia de alta frequência precisa e reprodutível de até 1000 watts com resolução extremamente fina– em passos de 100 mW – o que o torna adequado para as mais diversas aplicações de plasma. Quer seja na fabricação de semicondutores, células solares ou displays, a tecnologia patenteada TRUMPF Hüttinger garante a maior confiabilidade sempre e os melhores resultados de processo, graças às modernas funções de processo.
Garante um ajuste de frequência ideal e muito rápido, portanto, interação ideal entre o gerador e a rede de adaptação.
Controle seguro de processos novos e exigentes garantindo a proteção do seu produto.
Comando flexível e vários níveis da forma do pulso, para melhores resultados de processo nos processos de plasma modernos.
Permite aplicação e troca flexível dos geradores em caso de alteração do processo ou retromodificação.
A tecnologia patenteada CombineLine garante um desempenho de processo uniforme graças à impedância de saída ideal de 50 ohms.
Com diferentes classes de potência dentro da família de produtos de alta frequência é possível atender a todos os requisitos de processo.
Em caso de alterações no processo ou no sistema não é mais necessário adaptar o comprimento de cabo.
Os geradores de alta frequência TruPlasma RF Air Série 1000 são ideais para processos de plasma como RIE, ALD, PECVD e pulverização catódica. Esses processos são aplicados, por exemplo, na fabricação de elementos de semicondutores e sistemas microeletromecânicos (MEMS), bem como no revestimento de telas planas e células solares.
As áreas de aplicação típicas do TruPlasma RF Air Série 1000 são processos rigorosos de PECVD, gravação e de pulverização de alta frequência nas indústrias de tela plana, solar e de semicondutores.
Diversos processos de plasma são usados para fabricação de semicondutores, desde processos de remoção como gravura a seco até fusão zonal na fabricação de silício puro. Os geradores TruPlasma RF Air Série 1000 oferecem todas as condições para uma alimentação de corrente estável, ideal e conforme o respectivo processo, de maneira que resultados excelentes e reprodutíveis possam ser atingidos.
Máxima produtividade e disponibilidade
O design robusto e flexível dos geradores de alta frequência permite um aumento da produção e uma redução dos custos operacionais.
Processos estáveis, resultados reprodutíveis
A tecnologia patenteada CombineLine com matching inteligente em tempo real garante uma disponibilidade ideal do TruPlasma RF 1001 Air e impede as oscilações de plasma e sujeira de modo confiável.
Aplicação compacta e flexível
O gerador de alta frequência é muito econômico em espaço, graças à construção compacta (extraível ½-19 polegadas) - ideal para instalações novas e como solução de retroadaptação em sistemas existentes. As diversas interfaces disponíveis (interface analógica configurável, EtherNet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) facilitam a integração a sistemas existentes.
Precisão até a casa decimal
Graças à dosagem de energia precisa em passos de 100 mW, o TruPlasma RF 1001 Air também permite os melhores resultados em aplicações modernas e exigentes, como ALD. O controle de potência de alta precisão do gerador de alta frequência permite a melhor repetibilidade de wafer-to-wafer.
Melhores resultados de processo, graças às modernas funções de processo
Funções de controle digitais como Smart Auto Frequency Tuning 2.0, Arc Management e Multi Level Pulsing permitem uma adaptação ideal do gerador de alta frequência ao respectivo processo.
Adaptação flexível à aplicação do cliente
Há diversas classes de potência e frequência disponíveis no design uniforme do gerador, permitindo a fácil mudança em caso de alterações do processo. A adaptação do comprimento do cabo também não é mais necessária.
Controle do sistema de alta frequência completo através da SystemPort TRUMPF
O SystemPort permite um circuito de regulagem fechado por meio da medição do sinal de RF diretamente na entrada e saída da rede de adaptação, de modo que o gerador de alta frequência sempre tem todos os valores de medição à disposição. Os parâmetros de processo são monitorados continuamente, a rede de adaptação é protegida e é possível garantir uma detecção de arco rápida.
Profinet, Profibus, EtherCAT, bem como interfaces analógicas e digitais, permitem uma ligação simples do TruPlasma MF Série 7000 aos sistemas existentes.
A gestão de arcos sofisticada é o módulo ideal para o melhor controle do processo de plasma. Uma detecção de arco específica garante a maior produtividade possível e protege ainda o produto e seu sistema.
Forma de pulso flexível: a forma do sinal de saída pode ser ajustada às exigências de processo.
Vários geradores de corrente contínua TruPlasma DC Série 4000 (G2) podem ser operados de maneira síncrona. Esse modo permite a sincronização da detecção de arco de vários geradores alinhados conforme diversas metas. O modo de pulso também pode ser sincronizado.
GUI web
O servidor da web integrado permite tanto a operação do sistema de alta frequência quanto atualizações de software através de um navegador da web.
TruControl Power
O software de comando fácil de usar permite uma colocação em funcionamento confortável e um monitoramento seguro do gerador de alta frequência ou de todo o sistema RF da TRUMPF no processo em andamento.
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