A primeira opção para aplicações HiPIMS
Os geradores TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) podem ser usados nos sistemas existentes de magnétron sem modificações como alternativa aos geradores de pulverização catódica de CC. Eles proporcionam revestimentos de materiais rígidos especialmente resistentes à corrosão e desgaste e são, por isso, a primeira opção para aplicações de High Power Impulse Magnetron Sputtering.
Potências de pico perfeitas de até 4 Megawatt geram densidades de plasma extremas com fluxos de íons altos.
O ajuste simples aos sistemas de cátodos existentes e condições de processo permite uma integração ideal entre equipamentos.
Como mais recente desenvolvimento em processos de pulverização catódica de deposição física de vapores (PVD), o HiPIMS oferece revestimentos de material rígido resistentes à corrosão e ao desgaste.
Utilizável também em modo CC, não é necessário um gerador de corrente contínua adicional.
Revestimentos de materiais rígidos
Pela aplicação de camadas funcionais, as peças de trabalho bastante exigidas recebem uma dureza de bordo aumentada e fricção estática, bem como estabilidade química e térmica aprimoradas. Os geradores TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) garantem um processo de plasma altamente estável e, com isso, uma qualidade de camada excelente.
Semicondutor/fotovoltaico
No setor fotovoltaico e de semicondutores, há várias áreas de aplicação para energia de processo sob medida. Os geradores TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) podem ser ajustados de forma ideal ao respectivo processo e possibilitam parâmetros de revestimento excelentes e uma alta produtividade.
Revestimentos de vidro
Os revestimentos de grandes áreas de vidro arquitetônico em um processo de plasma PVD são bastante exigentes no que diz respeito à alimentação de energia de processo. Os geradores TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) oferecem as condições ideais para um resultado de revestimento de alta qualidade.
Resultados de processo ideais
Altas potências de pico geram um plasma altamente ionizado e permitem fluxos de íons altos. Isso pode resultar em filmes espessos e coerentes sem gotas. Em combinação com configurações de substratos polarizados, os geradores TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) fornecem resultados avançados em aplicações de decapagem e trench filling.
Gestão de arco totalmente digital
A frequência e duração do pulso configurável, parâmetro de potência ampliada e a gestão de arco totalmente digital com uma energia de arco bastante baixa permitem uma pulverização catódica sem respingos, o mínimo de defeitos no filme e qualidade de camada alta e taxas de separação garantidas.
Revestimentos extraordinários
Alta energia e altas tensões de até 2 kV permitem a fabricação de revestimentos de alta qualidade - tanto em pequenos laboratórios quando em grandes sistemas industriais. Impulsos de até 5 ms e frequências de até 10 kHz aumentam a taxa de separação e ajudam a reduzir os custos operacionais totais.
Alta estabilidade de processo
A regulagem da potência com frequência ajustável garante que os parâmetros de separação permaneçam constantes, mesmo em processos reativos complexos. Assim os processos permanecem estáveis durante horas e dias sem que seja necessário qualquer tipo de intervenção.
Uma unidade compacta
Os geradores da série TruPlasma Highpulse são uma unidade em tamanho compacto. Eles não precisam de uma alimentação de corrente contínua externa, são totalmente resfriados por água e com isso possibilitam o trabalho em uma sala limpa.
Diversas opções garantem um ajuste ideal da TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) à sua aplicação.
A gestão de arco totalmente digital com energia de arco muito baixa propicia a alta qualidade de camadas e taxas de separação.
PVD Power
O software fácil de usar e em diversos idiomas PVD Power oferece várias opções para operação, configuração e diagnóstico para otimização da qualidade de processo e solução de falhas eficaz: exibição de valores reais de todos os parâmetros de processo relevantes, bem como avisos e mensagens de alarme, especificação de valores nominais pelo operador, gravação e visualização de parâmetros operacionais importantes em alta resolução (função do osciloscópio).
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