Pulsadores bipolares da mais nova geração
Os fornecimentos de energia de processo do TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1) foram desenvolvidos especialmente para o revestimento com base em plasma por meio dos processos de pulverização catódica reativa, PVD e PECVD e fornecem resultados excelentes com os sinais de saída de forma flexível e uma gestão de arco refinada para a fabricação de células solares e semicondutores, colocação de camadas decorativas e resistentes ao desgaste, bem como o revestimento do vidro arquitetônico.
Gestão de arco totalmente digital para a maior qualidade de camada e produtividade.
Adaptação simples aos diversos processos por meio da variação do sinal de saída.
CC, CC pulsada e bipolar: economia de custos graças às diversas opções de ajuste.
Nenhum componente externo necessário, por isso a pouca necessidade de espaço.
Alimentação elétrica de ponta
As áreas típicas de aplicação são a produção de semicondutores e a produção fotovoltaica, o revestimento de vidro para arquitetura, bem como a fabricação de camadas decorativas e resistentes a desgaste na maior qualidade. Os processos mais usados são principalmente o PVD e PECVD.
Camadas perfeitas, alta produtividade
A gestão de arco totalmente digital com energia de arco muito baixa propicia a alta qualidade de camadas e taxas de separação. Mesmo em processos reativos exigentes, o TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1) garante uma alimentação de corrente de processo constante e, assim, o estado estável do plasma.
Mais flexibilidade, menos custos
Pelas formas de ondas ajustáveis, é possível adaptar os geradores TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1) de maneira simples conforme as mais diferentes exigências de processo. Graças à escolha flexível do sinal de saída (CC, CC pulsada ou bipolar), eles podem ser usados de várias formas e ajudam a reduzir os custos operacionais em geral (TCO).
Tudo em uma caixa
Graças à caixa do gerador completa protegida contra influências meteorológicas e com refrigeração de água integrada, não são necessários componentes externos.
PVD Power
O software fácil de usar e em diversos idiomas PVD Power oferece várias opções para operação, configuração e diagnóstico para otimização da qualidade de processo e solução de falhas eficiente, exibição de valores reais de todos os parâmetros de processo relevantes, bem como avisos e mensagens de alarme, especificação de valores nominais pelo operador, gravação e visualização de parâmetros operacionais importantes em alta resolução (função do osciloscópio).
Por meio da seleção de diversos componentes de sistema, é possível ajustar seu gerador de pulsos bipolar da melhor maneira conforme seu ambiente de sistema.
Há diversas versões de cabos e conectores disponíveis para os mais diferentes padrões.
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