Nesse processo, o laser evapora o material de forma a gerar o mínimo possível de material fundido. O vapor do material gera uma pressão elevada na ranhura de corte, que expele o material fundido para cima e para baixo.
O gás de tratamento, nitrogênio, argônio ou hélio, protege as superfícies de corte contra o ambiente. Ele garante que as arestas de corte permaneçam isentas de óxido. Por esse motivo, é suficiente uma pressão de gás de 1 a 3 bar.
É necessária mais energia para vaporizar um metal do que para fundi-lo. Por isso, o corte por sublimação exige potências laser mais elevadas, sendo mais devagar que outros processos de corte. Em compensação, o processo gera arestas de corte de alta qualidade.