O High Power Seed Module (HPSM) é composto por dois seed lasers que geram pulsos de saída fortes de poucos Watt, bem como vários componentes ópticos ativos e passivos que formam o raio laser e garantem um comprimento de pulso ideal. Com um primeiro amplificador, a luz é potencializada em 100 W. Os lasers seed são protegidos de maneira ideal contra reflexos por meio de mecanismos de proteção, de maneira que a estabilidade de todo o sistema seja aumentada decisivamente e a potência de UVE constante necessária seja atingida.

A High Power Amplification Chain (HPAC) é composta por quatro ressonadores para aumento de potência, ligados entre si por elementos condutores de raio. Cada ressonador é otimizado de acordo com o respectivo nível de reforço (por exemplo, ventilador, excitação por RF, mistura de gases, guia do raio). Três diferentes circuitos de resfriamento garantem a estabilidade necessária para o sistema. Os pulsos curtos garantem uma potência de saída de pico extremamente alta na faixa de mW. A metrologia online completa fornece a base para a medição permanente do raio.

O Beam Transport System (BTS) - composto pela placa de montagem, periscópio e espelho - transporta o raio laser a até 30 metros em direção à câmara de gotas. Basicamente, tanto a estabilidade mecânica do sistema sob a alta carga de potência como também a estanqueidade do guia do raio são decisivas para uma baixa absorção e sujeira. Os espelhos possuem um revestimento especial, para que seja absorvido o mínimo possível de luz laser.

O FFA é composto por duas peças de sistema: uma Optics Platform e uma Focusing Unit. Para a geração de um raio de plasma ideal, o pulso de laser deve atingir a gota de estanho totalmente. Mas como as gotas de estanho são menores do que o diâmetro do raio laser, o pulso inicial e o pulso principal são separados na Optics Platform e moldados para a geração de UVE ideal. O pulso inicial atinge a gota de estanho com uma potência baixa, de maneira que a gota incha e toma a forma plana, aumentando a área. O pulso principal em seguida é absorvido pelo filme de líquido criado e é gerado então o plasma em si, gerando a radiaçao UVE. Dessa forma, a potência laser de 40 quilowatt é aproveitada de forma eficiente e é possível garantir uma geração segura de raios de plasma para a radiação. A Focusing Unit garante um foco ideal da luz laser nas gotas de estanho.