Gerador de plasma de energia de estado sólido robusto e poderoso para as mais altas densidades de plasma e requisitos de processo
Os geradores da série TruPlasma MW são baseados na tecnologia de estado sólido e atingem uma precisão de frequência significativamente maior do que os geradores de micro-ondas baseados em magnetron. O conceito de plataforma inovador pode realizar de forma eficiente e econômica as mais altas densidades de plasma e até mesmo requisitos de processo muito exigentes. O design modular também permite o dimensionamento preciso da potência de saída. A fonte de alimentação permanece estável em todos os momentos, sem prejudicar a qualidade do processo. Na fabricação de semicondutores, células solares e displays, a série TruPlasma MW garante os melhores resultados e máxima confiabilidade graças às modernas funções de processo.
Uma pulsação inovadora na faixa de nanossegundos permite o melhor controle do processo de plasma.
O ajuste automático de frequência garante um resultado de processo ideal e alta reprodutibilidade.
Em sistemas multi-antenas, diferentes geradores podem ser operados e pulsados em sincronismo de fase. A homogeneidade do plasma de grande área pode ser alcançada variando as relações de fase entre os geradores individuais.
Confie na função do gerador - a qualidade do processo não é afetada mesmo em caso de ajuste incorreto.
Beneficie-se da modulação de frequência digital de alta precisão, que garante resultados de processo reprodutíveis, a mais alta qualidade de camada e produtividade.
A interface digital EtherCat permite controlar o dispositivo muito rapidamente em um milissegundo. Isso permite a distribuição precisa do plasma.
Fabricação de células solares
No campo da energia fotovoltaica, processos de plasma como sputtering ou PECVD são usados para aplicação e remoção de material. Os geradores da série TruPlasma MW podem ser adaptados rapidamente aos vários processos e garantem alta produtividade e resultados de processo de primeira linha. Graças à dosagem precisa de energia, os melhores resultados são alcançados mesmo com as aplicações mais modernas e exigentes. Ao mesmo tempo, o controle de potência de alta precisão permite a melhor repetibilidade de wafer-to-wafer.
Fabricação de semicondutores
Os geradores de plasma são usados para uma ampla variedade de processos de plasma na fabricação de semicondutores - desde gravação a seco até desenho por zona na fabricação de silício. Nossa série TruPlasma MW oferece uma fonte de alimentação otimizada para todos esses processos
Revestimento de telas planas
Quando se trata de revestimento de telas planas, nossos geradores TruPlasma MW mostram seus pontos fortes em processos de plasma como PECVD, ALD e RIE.
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