Geradores de plasma

Os geradores de plasma baseados em estado sólido da série TruPlasma MW consistem em um conceito de plataforma inovador e geram as mais altas densidades de plasma para requisitos de processo exigentes. O Nano-Pulse permite que uma ampla variedade de parâmetros de plasma seja ajustada de forma ideal para a aplicação desejada.

Os fornecimentos de energia de processo do TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1) fornecem resultados excelentes com sinais de saída de forma flexível e uma gestão de arco refinada para a fabricação de células solares e semicondutores, colocação de camadas decorativas e resistentes ao desgaste, bem como o revestimento de vidro arquitetônico. Os geradores da mais nova geração são excelentes para processos de plasma exigentes, como a pulverização catódica reativa, PVD e PECVD.

Com os geradores de média frequência TruPlasma Série MF 7000 (G2) você tem sempre o controle total sobre o processo – o resultado são as qualidades de camada sensacionais e a maior produtividade inclusive em aplicações de camada exigentes. Com níveis de eficiência de pico de mais de 90%, essas alimentações de corrente de última geração são também extremamente econômicas na operação.

As alimentações de corrente de processo da TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) fornecem revestimentos de material rígido especialmente resistentes à corrosão e desgaste e são a primeira escolha para aplicações HIPIMS. Em combinação com substratos polarizados, a TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) também pode ser útil para aplicações de semicondutores, como trench-filling, preparação de superfícies e decapagem.

O TruPlasma DC Série 4000 (G2) une o excelente tratamento de arcos da TRUMPF Hüttinger às vantagens da tecnologia de pulso de corrente contínua. Assim, você atinge melhores resutados de revestimento com poucos defeitos e taxas de deposição mais altas. O resultado são superfícies brilhantes e um grande desempenho de produção.

Como a nova geração de geradores de corrente contínua, o TruPlasma DC Série 3000 (G2) é adequado para uma variedade de processos de pulverização de corrente contínua. Graças à gestão de arco avançada e à refrigeração de água integrada, os geradores de corrente contínua também são interessantes como alternativa econômica aos geradores de corrente contínua pulsada. A construção extremamente compacta permite a integração simples às aplicações existentes.

Os geradores TruPlasma Arc Série 3000 atraem principalmente em revestimentos decorativos e de materiais rígidos. Devido à sua construção compacta e refrigeração a ar, é possível garantir a utilização ideal da área e a integração simples a sistemas novos ou existentes.

Os geradores TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) são geradores de alta frequência de última geração. Graças às funções inovadoras, como a tecnologia de acoplamento patenteada CombineLine ou a medição em tempo real de todos os parâmetros de processo, o abastecimento de corrente é garantido mesmo em processos de plasma exigentes – as condições ideais para resultados reprodutíveis e alta produtividade.

Os geradores de alta frequência potentes TruPlasma RF Série 3000 se destacam pela alta eficiência e estabilidade de processo. Por isso, eles são ideais para aplicação em processos de plasma exigentes, como a fabricação de telas planas, células solares ou semicondutores. Matchboxes perfeitamente ajustados ao gerador para adaptação de impedância garante uma transferência de potência ideal e estável a qualquer momento do gerador para o plasma.

A máxima potência para seu processo: os geradores TruPlasma VHF Série 3000 se baseiam em um conceito de plataforma inovador que atende às exigências mais rigorosas de processo. O projeto modular dos geradores VHF, que são puramente refrigerados pela água, permite que a potência de saída seja dimensionada em até 80 kW - e isso nos espaços mais apertados!

Para o controle de um processo de plasma, o importante é a adaptação exata da impedância de saída do gerador de alta frequência. Isso é feito por Matchboxes do TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) como elemento de ligação entre o gerador e o processo. Dessa forma, surge uma solução completa para a alimentação de energia do processo - o sistema catódico TRUMPF.