Idealne rozwiązanie dla zastosowań HiPIMS
Zasilacze TruPlasma Highpulse serii 4000 (G2) mogą być stosowane jako alternatywa do zasilaczy DC w istniejących systemach magnetronowych bez modyfikacji. Umożliwiają uzyskanie twardych warstw odpornych na korozję i ścieranie, są więc doskonałym wyborem do zastosowań impulsowego rozpylania magnetronowego wysokiej mocy.
Moc maksymalna wynosząca nawet 4 megawaty umożliwia generowanie plazmy o ekstremalnej gęstości o dużych strumieniach jonów.
Proste dostosowanie do istniejących systemów katod i warunków procesu pozwala na optymalną integrację urządzenia.
Najnowsze rozwiązanie impulsowych metod rozpylania magnetronowego dużej mocy pozwala przygotować twarde warstwy szczególnie odporne na korozję i na ścieranie.
Możliwość korzystania także w trybie DC, brak konieczności korzystania z dodatkowego zasilacza prądu stałego.
Powłoki utwardzające
Dzięki zastosowaniu funkcjonalnych powłok bardzo obciążone narzędzia do obróbki zyskują większą twardość powierzchni oraz lepszą stabilność termiczną i chemiczną. Zasilacze TruPlasma Highpulse serii 4000 (G2) zapewniają stabilność procesu plazmowego, a tym samym pozwalają na uzyskanie optymalnej jakości powłoki.
Półprzewodniki/fotowoltaika
W obszarze półprzewodników i fotowoltaiki istnieje wiele zastosowań o zróżnicowanym zapotrzebowaniu na energię procesową. Zasilacze TruPlasma Highpulse serii 4000 (G2) można optymalnie dostosować do danego procesu, co pozwala osiągnąć doskonałe parametry powlekania oraz wysoką produktywność.
Warstwy szklane
Powlekanie dużych powierzchni szkła architektonicznego w procesie plazmowym PVD stawia wysokie wymagania w odniesieniu do zasilania procesu. Zasilacze TruPlasma Highpulse serii 4000 (G2) zapewniają idealne warunki do uzyskania wysokiej jakości nanoszonych warstw.
Optymalne wyniki procesu
Wysoka moc maksymalna pozwala na uzyskanie silnie zjonizowanej plazmy i umożliwia wysoki przepływ jonów. W ten sposób można uzyskiwać bardzo spójne i gęste folie bez kropli. Zasilacze TruPlasma Highpulse serii 4000 (G2) w połączeniu ze spolaryzowanymi konfiguracjami substratu oferują doskonałe wyniki w zastosowaniach związanych z trawieniem i wypełnianiem rowków.
W pełni cyfrowy system detekcji łuków
Możliwość przestawiania czasu impulsu i częstotliwości, rozszerzone parametry mocy i w pełni cyfrowy system detekcji łuków o bardzo niskiej energii luków umożliwia proces rozpylania magnetronowego bez kropel, minimalne defekty folii i gwarantuje wysokiej jakości powłoki i dużą prędkość osadzania.
Doskonałe powłoki
Wysoka energia i wysokie napięcie do 2 kV umożliwiają wytwarzanie powłok wysokiej jakości – w niewielkich laboratoriach i w dużych instalacjach przemysłowych. Impulsy trwające do 5 ms i częstotliwości do 10 kHz podwyższają tempo osadzania i pozwalają obniżyć całkowite koszty.
Wysoka stabilność procesu
Regulacja mocy o zmiennej częstotliwości służy do utrzymania stałych parametrów osadzania także w przypadku wyjątkowo reaktywnych procesów. Dzięki temu procesy godzinami i dniami przebiegają stabilnie bez konieczności ingerencji.
Kompaktowa jednostka
Zasilacze serii TruPlasma Highpulse są kompaktowymi jednostkami. Wymagają zewnętrznego zasilania prądem stałym, są chłodzone wodą i mogą pracować w komorze czystej.
Różnorodność opcji konfiguracji pozwala na dostosowanie zasilaczy TruPlasma Highpulse Serii 4000 (G2) do wielu zastosowań.
W pełni cyfrowy system zarządzania Arc o bardzo małej energii Arc pozwala uzyskać wysokiej jakości powłoki i dużą prędkość osadzania.
PVDPower
Przyjazne dla użytkownika, wielojęzyczne oprogramowanie PVD Power oferuje różne możliwości działania, konfiguracji i diagnostyki w celu optymalizacji jakości procesu i skutecznego rozwiązywania problemów: wyświetlanie rzeczywistych wartości wszystkich istotnych parametrów procesu, jak również ostrzeżeń i alarmów, ustawianie żądanej wartości przez operatora, nagrywanie i wizualizacja ważnych parametrów pracy z wysoką rozdzielczością czasową (oscyloskop).
W zależności od kraju możliwe są odstępstwa od podanego asortymentu i tych informacji. Zastrzega się możliwość zmian w technologii, wyposażeniu, cenie lub ofercie akcesoriów. Proszę skontaktować się z lokalną osobą kontaktową, aby ustalić, czy produkt jest dostępny w Państwa kraju.
