Plasma-opwekkingen

TruPlasma RF Serie 3000

HF-technologie zonder compromissen

OFFERTE AANVRAGEN

Sluiten

Garantie voor excellente procesresultaten

Met deze HF-generatoren speelt u op safe: de TruPlasma RF Serie 3000 onderscheidt zich door een robuust ontwerp en hoge efficiëntie. Daardoor zijn deze generatoren uitermate geschikt voor stabiele, reproduceerbare plasmaprocessen, zoals bijvoorbeeld bij de productie van flatscreens, zonnecellen of halfgeleiders. Deze generators zijn geïnstalleerd in duizenden toepassingen wereldwijd en garanderen een grote productiviteit en uitstekende procesresultaten.

Efficiëntie en zuinigheid

Rendementen tot 80% maken een verlaging van de energiekosten met max. 50% mogelijk.

Excellent RF-vlamboogbeheer

Veilige uitvoering, ook bij veeleisende en nieuwe processen.

Hoge robuustheid en processtabiliteit

CombineLine-technologie: betrouwbare bescherming tegen gereflecteerd vermogen bij slechte aanpassingen.

Maximale flexibiliteit

Continue of pulserende vermogensafdracht, daardoor zeer veelzijdig te gebruiken.

Ets- en coatingprocessen

De HF-generators uit de TruPlasma RF-serie 3000 zijn vooral geschikt voor ets- en coatingsprocessen, bijvoorbeeld plasmaetsen, reactief ionenetsen, ALD en PECVD.

Coating van metalen werkstukken

Met behulp van plasmaprocessen kan zowel materiaal op oppervlakken worden aangebracht als verwijderd, bijvoorbeeld bij het coaten van metalen werkstukken met een slijtagebestendige laag of bij het structureren van elektronische componenten met behulp van plasma-etsen of fotolak-plasmaverbranding.

Coating van flatscreens en zonnecellen

De HF-generatoren van de TruPlasma Serie RF 3000 zijn ideaal voor plasmaprocessen zoals RIE, ALD, PECVD en RF-sputteren. Deze processen worden onder andere gebruikt bij het coaten van flatscreens en zonnecellen.

Maximale efficiëntie en processtabiliteit

Halveren van energieverlies en daling van het koelwatergebruik door het excellente rendement, zo minimaliseert u uw bedrijfskosten. Het zeer robuuste ontwerp van de generatoren maakt een langere bedrijfsduur en daardoor grotere coatingsnelheden mogelijk, zelfs bij kritieke processen. Plasmaschommelingen worden effectief voorkomen door de CombineLine-technologie met echte 50 Ohm-uitgangsimpedantie, hierdoor zijn absoluut stabiel processen mogelijk.

Veiligheid onder alle omstandigheden

Het robuuste ontwerp zorgt voor een maximale betrouwbaarheid en productiviteit van uw proces. Een 100% bescherming tegen verkeerde aanpassing garandeert een veilig bedrijf, ook bij kritische belasting. De naar keuze continue of pulserende vermogensafdracht ondersteunt een groot aantal proceseisen. Wereldwijd zijn al meer dan 20.000 eenheden geïnstalleerd - meer dan van enige andere plasmastroomvoorziening.

TRUMPF SystemPort

De SystemPort maakt een gesloten regelcircuit mogelijk door het meten van het RF-signaal rechtstreeks op de in- en uitgang van het aanpassingsnetwerk. Voor de RF-generator zijn alle meetwaarden beschikbaar. Daardoor kunnen procesparameters beter worden bewaakt, het aanpassingsnetwerk worden beschermd en een tijdige vlamboogherkenning worden gewaarborgd. Het volledige RF-systeem kan daardoor via een enkele generatorinterface worden bediend.

Verschillende opties maken een optimale aanpassing van de HF-generator aan uw toepassing mogelijk.

Vlamboogbeheer

Het doordachte vlamboogbeheer is de ideale module voor de beste controle van het plasmaproces. Een gerichte vlamboogherkenning garandeert de beste productiviteit en beschermt tegelijkertijd het product en de installatie.

TruControl Power

De gebruiksvriendelijke besturingssoftware TruControl Power maakt een comfortabele inbedrijfstelling en veilige bewaking van de HF-generator of van het totale TRUMPF RF-systeem in het lopende proces mogelijk.

Alle componenten van het TRUMPF RF-systeem zijn optimaal op elkaar afgestemd.

TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

TruPlasma Match-aanpassingsnetwerken zorgen voor een optimale vermogensoverdracht van de generator naar de plasmaontlading. Het gebruik van het aanpassingsnetwerk kan zelfstandig of via een slimme verbinding tussen generator en aanpassingsnetwerk, de zogenaamde SystemPort, plaatsvinden.

Masteroscillators

Met behulp van masteroscillatoren kunnen kritische synchrone plasmaprocessen worden gestabiliseerd en geoptimaliseerd. Een geïntegreerde digitale frequentie- en fasesynthesizer zorgt voor een hoge frequentie- en fasestabiliteit en maakt het instellen van de faseverhouding met een heel klein increment mogelijk. Voor de frequentie 13,56 MHz en voor verschillende combinaties van frequenties kan worden gekozen uit verschillende uitvoeringen van de masteroscillator.

HF-omschakelaars

Een HF-omschakelaar maakt het meervoudig gebruik van een HF-generator voor verschillende plasmaprocesstations mogelijk, bijvoorbeeld voor de stroomtoevoer van sequentiële processen of voor systemen met verschillende toegangspunten. Er zijn verschillende HF-shifts in twee vermogensklassen en met 2, 3 of 4 uitgangen beschikbaar.

Coaxkabels

Voor de HF-vermogensoverdracht biedt TRUMPF Hüttinger-coaxkabels aan, die speciaal zijn ontwikkeld voor gebruik in 50 Ohm-systemen.

Perfect op elkaar afgestemd: generator en aanpassingsnetwerk

Plasmaprocessen gedragen zich als een complexe, variabele belasting die constant moet worden gevoed door de generator. Hier zorgen actieve aanpassingsnetwerken voor, die op elk moment een nauwkeurige aanpassing aan de optimale impedantie van 50 Ohm waarborgen. Zo ontstaat een perfect op elkaar afgestemde systeemoplossing; het TRUMPF RF-systeem. Via diverse interfaces, waaronder EtherCAT, kunt u de generator en het aanpassingsnetwerk heel eenvoudig in uw bestaande procesomgeving integreren en door een intelligente verbinding tussen generator en aanpassingsnetwerken, de zgn. SystemPort, bereikt u een optimale systeemoplossing.

Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.

Deze onderwerpen vindt u misschien ook interessant

Uw contactpersoon bij TRUMPF Hüttinger

Bent u geïnteresserd in een product of heeft u advies nodig? Hier vind u uw contactpersoon wereldwijd.

24/7 bereikbaar

Our IoT Services will help to maximize your up-time and makes service support even more preventative and projectable.

Hoge efficiëntie in robuust ontwerp

Innovatief, modulair, schaalbaar: de nieuwe compacte VHF-generatoren van TRUMPF Hüttinger overtuigen door hun hoge efficiëntie en een robuust ontwerp.

Service & contact

Contact

Ehab Alhawari

Telefoon +49 761 89712115

E-mail

Services

Downloads

Brochure TruPlasma RF Serie 3000

pdf - 1 MB

Flyer TruPlasma RF Series 3000

pdf - 6 MB

Brochure TruPlasma RF-systeem

pdf - 6 MB