TruPlasma RF 1000 Air Serie

Het flexibele, robuuste design van de HF-generatoren maakt een stijging van de productie en een reductie van de bedrijfskosten mogelijk.

De gepatenteerde CombineLine-technologie met intelligente real-time matching garandeert een optimale beschikbaarheid van de TruPlasma RF 1001 Air en voorkomt op betrouwbare wijze plasmaschommelingen en verontreinigingen.

Dankzij de compacte constructie (insteekmodule van ½-19") is de HF-generator zeer plaatsbesparend – ideaal voor nieuwe installaties en als retrofitoplossing in bestaande installaties. De integratie is dankzij de talrijke beschikbare interfaces (configureerbare analoge interface, ethernet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) zeer eenvoudig.

Dankzij de precieze energiedosering in stappen van 100 mW kunnen met de TruPlasma RF 1001 Air ook in de modernste, meest veeleisende toepassingen zoals ALD de beste resultaten behaald worden. De uiterst nauwkeurige vermogensregeling van de HF-generator garandeert de beste wafer-naar-wafer-herhaalbaarheid.

Digitale besturingsfuncties als Auto Frequency Tuning 2.0, vlamboogbeheer en pulseren op meerdere niveaus maken een optimale aanpassing van de HF-generator aan het betreffende proces mogelijk.

Er zijn verschillende vermogensklassen en frequenties in een uniform generatorontwerp beschikbaar, waardoor een eenvoudige vervanging bij proceswijzigingen mogelijk is. Ook het aanpassen van de kabellengte is niet meer nodig.

De SystemPort maakt een gesloten regelcircuit mogelijk door het meten van het RF-signaal rechtstreeks op de in- en uitgang van het aanpassingsnetwerk, zodat de HF-generator altijd alle meetwaarden ter beschikking stelt. De procesparameters worden continu bewaakt, het aanpassingsnetwerk wordt beschermd en een tijdige vlamboogherkenning wordt gewaarborgd.