Plasma-opwekkingen

TruPlasma Highpulse-serie 4000 (G2)

Superieure coatingresultaten door zeer dicht plasma

NAAR PRODUCT

Sluiten

Overzicht

Toepassingen

Klantvoordelen

Opties

Software

De eerste keuze voor HiPMS-toepassingen

De generatoren uit de TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) kunnen als alternatief voor DC-sputtergeneratoren in bestaande magnetronsystemen zonder modificaties worden gebruikt. Ze leveren zeer corrosiebestendige en slijtvaste hardmateriaalcoatings en zijn daardoor de eerste keuze voor High Power Impulse Magnetron Sputtering-toepassingen.

Onberispelijke coatingresultaten

Onberispelijke piekvermogens tot 4 megawatt genereren extreme plasmadichtheden met grote ionenstromen.

Flexibel te gebruiken

Dankzij de eenvoudige aanpassing aan bestaande kathodesystemen en procesvoorwaarden is een optimale integratie in apparaten mogelijk.

De eerste keuze voor HiPMS-toepassingen

Als nieuwste ontwikkeling op het gebied van pulserende PVD-sputterprocessen levert HiPIMS bijzonder corrosiebestendige en slijtvaste hardmateriaalcoatings.

Voor een groot aantal toepassingen

Ook te gebruiken in de DC-modus, geen extra gelijkstroomgenerator nodig.

Hardmateriaalcoatings

Door het aanbrengen van een functionele coating krijgen veeleisende werkstukken een verhoogde randhardheid en statische frictie en een betere thermische en chemische stabiliteit. De generatoren uit de TruPlasma Highpulse-serie 4000 (G2) zorgen voor een uiterst stabiel plasmaproces en dus voor een uitstekende coatingkwaliteit.

Halfgeleiders/fotovoltaïsche energie

Op het gebied van fotovoltaïsche energie en halfgeleiders zijn er talrijke toepassingen voor op maat gemaakte procesenergie. De generatoren uit de TruPlasma Highpulse-serie 4000 (G2) kunnen perfect worden aangepast aan het betreffende proces en maken uitstekende coatingparameters en een grote productiviteit mogelijk.

Glascoatings

Het coaten van grote oppervlakken architecturaal glas in een PVD-plasmaproces stelt zeer hoge eisen aan de processtroomtoevoer. De generatoren uit de TruPlasma Highpulse-serie 4000 (G2) bieden de ideale voorwaarden voor een hoogwaardig coatingresultaat.

Perfecte procesresultaten

Hoge piekvermogens genereren sterk geïoniseerd plasma en maken grote ionenstromen mogelijk. Daardoor kunnen zeer coherente en dichte films zonder druppels worden gecreëerd. In combinatie met gepolariseerde substraatconfiguraties bieden de generatoren van de TruPlasma Highpulse-serie 4000 (G2) ongeëvenaarde resultaten bij ets- en trenchfillingtoepassingen.

Volledig digitaal vlamboogbeheer

Instelbare pulsduur en -frequentie, uitgebreide vermogensparameters en het volledig digitale vlamboogbeheer met zeer lage vlamenergie maken druppelvrij sputteren en minimale filmdefecten mogelijk en garanderen een hoge coatingkwaliteit en afscheidingssnelheden.

Geweldige coatings

Dankzij hoge energie en hoge spanningen van maximaal 2 kV kunnen kwalitatief hoogwaardige coatings worden gecreëerd, zowel in kleine laboratoria als in grote industriële installaties. Impulsen van maximaal 5 ms en frequenties tot 10 kHz verhogen de afscheidingssnelheid en helpen zo de totale bedrijfskosten te verlagen.

Hoge processtabiliteit

De vermogensregeling met instelbare frequentie zorgt ervoor dat de afscheidingsparameters ook bij veeleisende reactieve processen constant blijven. Zo blijven processen uren- en dagenlang stabiel, zonder dat er ingegrepen hoeft te worden.

Een compacte eenheid

De generatoren uit de TruPlasma Highpulse-serie vormen een eenheid van compact formaat. Ze hebben geen externe gelijkstroomvoorziening nodig, zijn volledig watergekoeld en zijn hierdoor geschikt voor cleanrooms.

Verschillende opties garanderen een optimale aanpassing van de TruPlasma Highpulse-serie 4000 (G2) aan uw toepassing.

Arc-beheer CompensateLine (CLC)

Het volledig digitale vlamboogbeheer met zeer lage vlamboogenergie maakt hoge coatingkwaliteit en afscheidingssnelheden mogelijk.

Eenvoudige procesaanpassing

PVD Power

De gebruiksvriendelijke, meertalige software PVD Power biedt u allerlei bedienings-, configuratie- en diagnosemogelijkheden om de proceskwaliteit en het effectief verhelpen van fouten te optimaliseren: weergave van werkelijke waarden van alle relevante procesparameters en van waarschuwingen en alarmmeldingen, instelling van gewenste waarden door de bediener en registratie en visualisatie van belangrijke bedrijfsparameters met hoge resolutie in de tijd (oscilloscoopfunctie).

Afhankelijk van het land kunnen het productaanbod en deze gegevens afwijken. Wijzigingen in techniek, uitvoering, prijs en aanbod van accessoires voorbehouden. Neem contact op met uw contactpersoon ter plaatse om te vragen of het product in uw land verkrijgbaar is.