Plasmageneratoren

De op Solid State-gebaseerde plasmageneratoren van de TruPlasma MW Serie bestaan uit een innovatief platformconcept en genereren de hoogste plasmadichtheid voor veeleisende procesvereisten. Door de nanopulsen kunnen talrijke plasmaparameters optimaal worden ingesteld voor de gewenste toepassing.

De processtroomtoevoer van de TruPlasma Bipolar-serie 4000 (G2.1) levert met flexibel vormbare uitgangssignalen en een geperfectioneerd vlamboogbeheer uitstekende resultaten bij de productie van zonnecellen en halfgeleiders, bij het aanbrengen van decoratieve en slijtvaste coatings en bij het coaten van architecturaal glas. De generatoren van de nieuwste generatie zijn uitstekend geschikt voor veeleisende plasmaprocessen zoals reactief sputteren, PVD en PECVD.

Met de MF-generatoren uit de TruPlasma Serie MF 7000 (G2) hebt u altijd alle controle over uw proces – het resultaat is een uitstekende coatingkwaliteit en een optimale productiviteit, ook bij veeleisende coatingtoepassingen op grote oppervlakken. Met een rendement van meer dan 90% zijn deze nieuwste generatoren tegelijkertijd uiterst zuinig in bedrijf.

De procesgeneratoren uit de TruPlasma Highpulse-serie 4000 (G2) leveren zeer corrosiebestendige en slijtvaste hardmateriaalcoatings en zijn de eerste keuze voor HiPIMS-toepassingen. In combinatie met gepolariseerde substraten kan de TruPlasma Highpulse-serie 4000 (G2) ook halfgeleidertoepassingen bedienen, zoals bijvoorbeeld trench filling, voorbehandeling van oppervlakken en etsen.

De TruPlasma DC-serie 4000 (G2) verenigt de excellente vlamboogbehandeling van TRUMPF Hüttinger met de voordelen van DC-pulstechnologie. Zo bereikt u betere coatingresultaten met minder defecten bij een tegelijk hogere afscheidingssnelheid. Het resultaat zijn briljante oppervlakken met een groot productievermogen.

Als nieuwe generatie gelijkstroomgeneratoren is de TruPlasma DC-serie 3000 (G2) geschikt voor allerlei DC-sputterprocessen. Dankzij hun geavanceerde vlamboogbeheer en de geïntegreerde waterkoeling zijn de DC-generatoren ook interessant als voordelig alternatief voor DC-pulsgeneratoren. De zeer compacte bouwwijze maakt bovendien eenvoudige integratie in bestaande toepassingen mogelijk.

De generatoren uit de TruPlasma Arc-serie 3000 blinken vooral uit bij hardmateriaal- en decoratieve coatings. Door de compacte bouwwijze en de luchtkoeling wordt optimaal gebruik van waardevolle bedrijfsruimte gegarandeerd en de integratie in nieuwe of bestaande systemen gemakkelijker gemaakt.

De luchtgekoelde HF-generator TruPlasma RF 1001 Air levert max. 1000 watt uiterst nauwkeurige, reproduceerbare HF-energie met een extreem fijne dosering – in stappen van 100 mW – en is daarmee ideaal voor de meest uiteenlopende plasmatoepassingen. Of het nu gaat om de productie van halfgeleiders, zonnecellen of displays, de gepatenteerde technologie van TRUMPF Hüttinger garandeert overal een optimale beschikbaarheid en de beste procesresultaten dankzij moderne procesfuncties.

De TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) bestaat uit HF-generatoren van de nieuwste generatie. Dankzij innovatieve functies zoals de gepatenteerde CombineLine-koppelingstechnologie of de realtime meting van alle procesparameters is een veilige stroomtoevoer ook bij veeleisende plasmaprocessen gegarandeerd – optimale voorwaarden voor reproduceerbare resultaten en hoge productiviteit.

De krachtige HF-generatoren van de TruPlasma RF Serie 3000 onderscheiden zich door optimale efficiëntie en processtabiliteit. Ze zijn daardoor ideaal voor veeleisende plasmaprocessen, zoals bijvoorbeeld bij de productie van platte beeldschermen, zonnecellen of halfgeleiders worden gebruikt. Precies op de generator afgestemde aanpassingsnetwerken voor impedantie-aanpassing zorgen te allen tijde voor een optimale en stabiele vermogensoverdracht van generator naar plasma.

Maximaal vermogen voor uw proces: de generatoren uit de TruPlasma VHF-serie 3000 zijn gebaseerd op een innovatief platformconcept, dat zelfs voldoet aan veeleisende proceseisen. De modulaire en zuiver watergekoelde opbouw van de VHF-generatoren maakt een verschaling van het uitgangsvermogen tot op 80 kW mogelijk. En dat met minimaal ruimtegebruik!

Voor het optimaal uitvoeren van een plasmaproces is de exacte aanpassing van de uitgangsimpedantie van de HF-generator essentieel. Daarvoor zorgen de aanpassingsnetwerken van de TruPlasma Match-serie 1000 (G2/13) als schakel tussen generator en proces. Op deze manier ontstaat een totaaloplossing voor uw processtroomtoevoer – het TRUMPF RF-systeem.