Bij deze methode verdampt de laser het materiaal waarbij er zo min mogelijk gesmolten materiaal ontstaat. De materiaaldamp wekt in de snijvoeg een hoge druk op, die de smelt naar boven en onderen toe eruit slingert.
Het procesgas, stikstof, argon of helium isoleert de snijvlakken alleen van de omgeving. Het zorgt ervoor dat de snijranden oxidevrij blijven. Daarom is een gasdruk van 1 tot 3 bar voldoende.
Er is meer energie nodig om metaal te verdampen dan het te smelten. Daarom is voor sublimatiesnijden hoge laservermogens nodig en is deze methode langzamer dan andere snijmethoden. Daarvoor worden met deze methode wel hoogwaardige snijranden bereikt.