공랭식의 고주파 발진기 TruPlasma RF 1001 Air는 매우 정교한 분해능(100 mW 단위)을 통해 정확하고, 재생산 가능한 HF 에너지를 제공합니다(최대 1000 Watt까지). 그렇기 때문에 다양한 플라즈마 어플리케이션에 적합합니다. 반도체 제조, 솔라셀 제조, 디스플레이 제조, 그 어떠한 제조에서도 – 특허를 받은 TRUMPF Hüttinger 테크놀로지는 최신식의 공정 기능 덕분에 최고의 가용성과 최적의 공정 결과를 보장합니다.
상당히 신속한 최적의 주파수 조정을 보장하고, 이를 통해 발진기와 매칭 네트워크 간의 최적화된 상호 작용을 또한 보장합니다.
까다로운 요건 및 새로운 방식의 프로세스에 대한 안전한 가이드는 귀하의 제품 보호를 보장해줍니다.
최신식 플라즈마 공정에서의 더 나은 공정 결과를 위한 여러 단계의, 유연한 펄스 형태 제어
공정 변경 또는 재조절(Retrofit) 시 유연한 발진기 사용 및 교체 가능
특허를 받은 CombineLine 테크놀로지는 50 Ohm 출력 임피던스 덕분에 동일한 공정 출력을 보장합니다.
고주파 제품군 내의 다양한 출력등급을 통해 모든 공정 요구를 충족할 수 있습니다.
프로세스 변경 또는 시스템 변경 시 더 이상 케이블 길이를 조정할 필요가 없습니다.
TruPlasma RF Air 1000 시리즈의 고주파 발진기는 RIE, ALD, PECVD 및 RF 스퍼터링과 같은 플라즈마 프로세스에 매우 적합합니다. 본 프로세스는 특히 반도체 부품 및 미소 기계 시스템(MEMS) 제조 시와 평면 스크린 및 솔라셀 코팅 시에 사용됩니다.
TruPlasma RF Air 1000 시리즈의 대표적인 사용 영역은 솔라셀 산업에서의 PECVD 공정, 에칭 공정 및 스퍼터링 공정입니다.
반도체 제조 시 건조 에칭을 통한 재료 제거에서 순수 실리콘 제조 시의 존 정제법(zone refining process)까지 다양한 플라즈마 공정이 사용됩니다. TruPlasma RF Air 1000 시리즈의 발진기는 각각의 공정에 맞게 안정적이고 최적으로 조정된 전원 공급을 위한 모든 전제조건을 제공하여 최상의 재현 가능한 결과에 도달할 수 있습니다.
최고의 생산성 및 가용성
고주파 발진기의 유연하고 견고한 디자인은 처리량을 늘리고, 운전비용을 줄여줍니다.
안정적인 프로세스, 재현 가능한 결과
특허를 받은 CombineLine 테크놀로지와 스마트한 실시간 매칭을 통해 TruPlasma RF 1001 Air의 최적화된 가용성을 보장하고 플라즈마 변동과 오염물을 확실하게 방지합니다.
콤팩트하고 유연한 사용 가능성
콤팩트한 작업 방식(19.5인치 트레이) 덕분에 고주파 발진기는 상당한 공간을 절약할 수 있습니다. 따라서 신규 설치를 하거나 기존 설비를 재조절(Retrofit)하기에 매우 이상적입니다. 사용 가능한 수많은 인터페이스(조정 가능한 아날로그 인터페이스, 이더넷, DeviceNet, 프로비버스, EtherCAT) 덕분에 통합이 상당히 간단합니다.
소수 자리까지의 정확함
100 mW 단위의 정밀한 에너지 측정 덕분에 TruPlasma RF 1001 Air를 사용하여 ALD와 같은 최신의, 가장 까다로운 어플리케이션에서도 최고의 결과를 얻을 수 있습니다. 고주파 발진기의 매우 정밀한 출력 제어는 각 웨이퍼 간의 최고의 반복성을 보장합니다.
최신의 공정 기능을 통한 최고의 공정 결과물
Smart Auto Frequency Tuning 2.0, 아크 관리 및 멀티 레벨 펄싱과 같은 디지털 제어 기능은 각 공정에서의 고주파 발진기 조정을 최적화할 수 있도록 해줍니다.
고객 어플리케이션에 따른 유연한 조정
서로 다른 출력등급과 주파수도 단일화된 발전기 디자인에서 사용할 수 있습니다. 이에 따라 공정 변경 시 간편하게 교체할 수 있습니다. 케이블 길이 조정도 더 이상 필요하지 않습니다.
TRUMPF SystemPort를 통한 완벽한 고주파 시스템 제어
SystemPort는 매칭 네트워크의 입출력 단에서 직접 RF 신호를 측정하여 제어를 가능하게 해줍니다. 이에 따라 고주파 발진기에서는 모든 측정값을 항상 사용할 수 있습니다. 공정 파라미터가 꾸준히 모니터링되고, 매칭 네트워크가 보호되며 조기의 아크 인식이 보장됩니다.
동기화 모듈은 복잡한 플라즈마 시스템에서 여러 발진기가 유연하고 안전하게 동기화될 수 있도록 해줍니다.
면밀하게 검토된 아크 관리는 플라즈마 공정 제어를 최적화할 수 있도록 해줍니다. 목적에 맞는 아크 인식은 생산성을 높여주고, 제품 및 설비를 손상으로부터 보호해줍니다.
최신의 플라즈마 공정은 펄스 모드에서 더 많은 유연성을 필요로 합니다. 여러 단계의, 자유롭게 선택 가능한 펄스 모드를 통해 어떤 종류의 펄스 형태도 만들 수 있습니다. 이는 플라즈마 물리학에서의 새로운 제어 메커니즘을 만들어내고, 개선된 공정 결과를 이끌어냅니다.
특허 받은 Auto Freuquency Tuning을 통해 발진기와 매칭 네트워크 간에 신속하게 동시 주파수 조정을 할 수 있습니다. 따라서 최적의 공정 결과 및 최고의 재현성이 보장됩니다.
Web-GUI
통합된 웹 서버를 통해 웹 브라우저에서 고주파 시스템 가동 및 소프트웨어 업데이트를 할 수 있습니다.
TruControl Power
사용자 친화적인 제어 소프트웨어를 통해 고주파 발진기 또는 작동 중인 모든 TRUMPF RF 시스템을 간편하게 작동하고 안전하게 모니터링할 수 있습니다.
국가에 따라 이 제품 분류 및 기재 사항이 다를 수 있습니다. 기술, 사양, 가격 및 액세서리 제공 품목이 변경될 수 있습니다. 제품이 귀하의 국가에서 사용 가능한지에 대한 여부는 현지 담당자에게 문의하십시오.
