TruPlasma Highpulse 시리즈 4000 (G2)

높은 최대 출력으로 고이온화된 플라즈마를 생성하고 높은 이온 유동성을 구현합니다. 이를 통해 액상 입자 없이 높은 응집성을 지닌 차단막을 얻을 수 있게 됩니다. TruPlasma Highpulse 시리즈 4000 (G2)의 발진기는 편광 기판 구성과 조합하여 에칭, 트렌치 충전 분야에서 월등한 결과를 제공합니다.

조절 가능한 펄스 지속 시간와 주파수, 확장된 출력 매개 변수 및 소량의 아크 에너지를 사용하는 완전히 디지털화된 아크관리를 통해 액상입자 없는 스퍼터링과 최소한의 필름 결함을 보장하고 높은 레이어 품질 및 증착률을 구현합니다.

높은 에너지와 최대 2kV의 높은 전압을 통해 높은 품질의 코팅을 실현합니다. 소규모 실험실에서뿐 아니라 대규모 산업 시설에서도 사용 가능합니다. 최대 5ms의 임펄스와 최대 10kHz의 주파수는 분리 장치를 향상시키고 총 운영 비용을 감소하는 것에 일조합니다.

조절 가능한 주파수를 통한 출력 제어는 까다로운 반응 프로세스에서도 분리 매개 변수가 일관적으로 유지되도록 합니다. 이렇게 프로세스는 몇 시간, 며칠동안 조작하지 않아도 안정적으로 유지됩니다.

TruPlasma Highpulse 시리즈 발진기는 간편한 사이즈의 유닛입니다. 발진기는 외부 직류 전원을 필요로 하지 않으며 완전 수랭식으로 클린룸에서의 작업이 가능합니다.