고도 요건의 프로세스의 우수한 핸들링
TruPlasma 직류 시리즈 4000 (G2)는 특히 난가공재의 반응 스퍼터링을 위해 개발되었습니다. 펄스 직류로 작동하는 발진기는 특히 최고의 층 품질 및 생산성이 동시에 요구되는 주요 PVD, PECVD 프로세스에서 그 효과가 입증되었습니다. 콤팩트한 직류 프로세스 전류 공급은 바이어스 가동 모드로 설정될 수 있습니다 - 말하자면 하나의 하우징에서 2개의 장비 가동!
디지털 신호 처리는 안정적인 프로세스와 아크 조건에 의한 시간 손실의 최소화를 보장합니다.
신속한 아크 처리는 직류 펄스 기술과 함께 기판 손상을 최소화합니다.
폭 넓은 주파수 스펙트럼 및 조정 가능한 예비 전압으로 인해.
내장형 워터 쿨링은 공간을 절약하며 유지 보수 비용을 낮춥니다.
![](https://media.trumpf.com/m/5f8b3ec5b6c9e537/original/Hartstoffbeschichtung-Derivat-512-341.jpg?w=1170&h=677)
경질재 코팅
기능층들의 적층에 의해 부하가 심한 공작물의 표면 경도 및 마찰 점착력이 증대되고, 열적 및 화학적 안정성이 개선됩니다. TruPlasma DC Serie 4000 (G2) 펄스 발진기는 안정적 플라즈마 프로세스를 위해 기능하여 최적의 층 품질을 제공합니다.
![](https://media.trumpf.com/m/6c2ef3399ab351eb/original/Zur-Aufbringung-dunnster-Metallschichten-ideal-geeignet-Derivat-512-341.jpg?w=1170&h=677)
금속화
PVD 프로세스를 이용하여 매우 얇은 금속층들은 다양한 물질들 상에 적층될 수 있어서, 이러한 금속층들은 최적의 광학적 및 전기적 특성을 얻게 됩니다. 전원 공급은 공정 파라미터에 따라 최적으로 조정됨으로써, 결함 없는 층들이 절대적으로 균일하게 증착될 수 있습니다.
![](https://media.trumpf.com/m/57b3fc505da871c8/original/Solarzellenherstellung-Derivat-512-341.jpg?w=1170&h=677)
솔라셀 제조
도전 물질(TCO)의 코팅은 솔라셀, 평면 스크린 및 터치스크린의 전기적 특성에 영향을 미칩니다. 이를 위해 아크 에너지가 매우 낮은 TruPlasma 직류 시리즈 4000 (G2) 펄스 발진기가 가장 적합합니다.
![](https://media.trumpf.com/m/57ac281ac7ebba8a/original/Architekturglas-Derivat-512-341.jpg?w=1170&h=677)
건축 유리
PVD 플라즈마 프로세스로 건축 유리를 대면적 코팅하는 것은 공정 전원 공급 요건이 매우 까다롭습니다. TruPlasma 직류 시리즈 4000 (G2) 펄스 발진기는 고품질 코팅 성과를 내기 위한 이상적 전제 조건입니다.
![](https://media.trumpf.com/m/1740de990616895c/original/Arc-Management-16to9.jpg?w=708&h=472)
높은 품질의 층 및 생산성
신속한 아크 처리 및 직류 펄스 기술을 조합하여 액적 발생율이 더 낮고 표면 결함이 더 적습니다. 아크로 인한 프로세스 중단은 최소화되고, 증착율은 현저하게 증대됩니다.
![](https://media.trumpf.com/m/69d2243aa01a02c/original/Ausgefeiltes-Monitoring-Tools-zur-Unterstutzung-Ihres-Prozesses-3x2.jpg?w=708&h=472)
프로세스에 따른 유연한 조정
펄스 주파수는 폭 넓은 범위에서 조정될 수 있으며, 또한 DC 발진기의 바이어스 구동 모드가 가능합니다. 따라서 다수의 어플리케이션을 위해 동일한 기계를 사용할 수 있습니다. 정밀한 모니터링 툴을 통해 프로세스를 최적화 합니다.
다양한 옵션을 이용하여 DC 펄스 발진기를 귀사 어플리케이션에 따라 최적으로 조정할 수 있습니다.
복수의 TruPlasma 직류 시리즈 4000 (G2) 직류 발진기는 동시에 가동될 수 있습니다. 이러한 모드는 상이한 타겟을 목적으로 한 복수의 발진기들에서 아크 인식을 동기화시킬 수 있습니다. 또한 펄스 모드도 동기화시킬 수 있습니다.
![](https://media.trumpf.com/m/14d6d7c46786bcfd/original/Bedienungsfreundliche-Software-PVD-Power-244x115.jpg?w=488&h=230)
PVD Power
운영 친화적 다언어 소프트웨어 PVD Power는 프로세스 품질 최적화 및 효과적 고장 처리를 위한 다양한 조작, 설정 및 진단 옵션을 제공합니다: 모든 공정 관련 파라미터의 실제값, 경고 및 경보 알림의 표시, 조작자에 의한 목표값 설정 내용, 중요 운영 파라미터를 높은 시분해능으로 기록 및 시각화 (오실로코프 기능)
국가에 따라 이 제품 분류 및 기재 사항이 다를 수 있습니다. 기술, 사양, 가격 및 액세서리 제공 품목이 변경될 수 있습니다. 제품이 귀하의 국가에서 사용 가능한지에 대한 여부는 현지 담당자에게 문의하십시오.