콤팩트한 차세대 DC 발진기
TruPlasma DC 3000 시리즈 (G2)는 펄스 전원 공급장치의 대체 공정과 같은 다양한 DC 스퍼터링 프로세스에 적합합니다. 보다나은 아크 관리를 위해서 최상의 필름 품질 보증과 현저히 증대된 생산 수율을 제공합니다. 수냉식 DC 발진기는 매우 콤팩트 하여 기존의 공정에 쉽게 적용할 수 있습니다.
0.3 mJ/kW 이하의 잔류 에너지가 최상의 막 품질 및 높은 증착율을 보장합니다.
매우 컴팩트한 구조(19 인치 트레이), 이로 인해 더 높은 성능을 간편하게 통합함.
20 kW - 300 kW의 전력 출력, 이를 통해 더 큰 발진기 대체 가능
시스템 유효 수명이 증가하고 유지보수 비용이 감소합니다.
가변 전원 전압(400 V - 180 V) 및 다양한 데이터 인터페이스
경질재 코팅
DC 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 기능층들이 적층됨으로써, 부하가 심한 공작물의 표면 경도 및 마찰 점착력이 증대되고, 열적 및 화학적 안정성이 개선됩니다. DC 발진기 TruPlasma DC 3000 시리즈 (G2)는 최적의 코팅 품질을 위해 안정적 플라즈마 프로세스를 제공합니다.
금속화
PVD 프로세스를 이용하여 매우 얇은 금속층들은 다양한 물질들 상에 적층될 수 있어서, 이러한 금속층들은 최상의 광학적 및 전기적 특성을 얻게 됩니다. 공정 파라미터에 따라 최적으로 조정된 전원 공급에 의해, 결함 없는 층들이 절대적으로 균일하게 증착될 수 있습니다.
솔라셀 제조
도전 물질(TCO)의 코팅은 솔라셀, 평면 스크린 및 터치스크린의 전기적 특성에 영향을 미칩니다. 이를 위해 아크 에너지가 매우 낮은 TruPlasma DC 3000 시리즈 (G2) 발진기가 가장 적합합니다.
건축 유리
DC 스퍼터링 프로세스로 건축용 유리의 대 면적 코팅이 전원 공급 공정에서 특히 높은 수요이다. TruPlasma DC 3000 시리즈 (G2) 발진기는 고품질 코팅 성과를 위한 이상적인 조건을 제공합니다.
펄스 발진기의 비용 효과적 대안
TruPlasma DC 3000 시리즈 (G2) 직류 발진기는 미래 지향적 아크 관리를 제공함으로써 다수의 스퍼터링 프로세스에서 입증되었습니다. 이는 펄스 직류 발진기를 위한 비용 효과적 대안으로서 동시에 현저히 증대된 생산 수율을 제공합니다.
더 높은 출력을 위한 콤팩트한 대안
콤팩트한 디자인에도 불구하고, TruPlasma DC 3000 시리즈 (G2) 발진기는 필름의 품질 및 생산성 면에서 현저히 더 큰 발진기를 능가합니다. 전력 출력이 60 kW를 초과하는 경우에도 이러한 발진기는 간단히 통합 가능하고 콤팩트한 대안이 될 수 있습니다.
더 긴 시스템 유효 수명을 위한 수냉식 냉각 시스템
TruPlasma DC 3000 시리즈 (G2) 발진기는 수냉식 냉각 시스템을 갖추고 있습니다. 이는 공냉식 냉각 시스템을 갖춘 장비에 비해, 더 높은 시스템 유효 수명을 제공하는 한편, 유지 보수 비용을 낮추고, 분진에 의한 오염을 방지합니다.
다양한 옵션을 이용하여 DC 발진기를 귀사의 어플리케이션에 따라 최적으로 조정할 수 있습니다.
워터 밸브 제어 시스템은 응축 방지 및 이와 동시에 발진기 과열 방지를 위해 냉각수 순환을 제어합니다.
TruPlasma 직류 시리즈 3000 (G2)는 EtherCAT, EtherNET 및 IP 인터페이스를 통해 기존 설비에 간단히 통합될 수 있습니다.
복수의 TruPlasma DC 3000 시리즈 (G2) 직류 발진기는 동시에 가동될 수 있습니다. 이러한 모드는 상이한 타겟을 목적으로 한 복수의 발진기들에서 아크 인식을 동기화시킬 수 있습니다. 또한 펄스 모드도 동기화시킬 수 있습니다. 필요한 전력 출력이 크면, TruPlasma 직류 3030 발진기를 최대 5개까지 병렬 접속할 수 있습니다. 이들은 TruPlasma 직류 3150 유닛으로서 작동합니다.
PVD Power
운영 친화적 다언어 소프트웨어 PVD Power는 프로세스 품질 최적화 및 효과적 고장 처리를 위한 다양한 조작, 설정 및 진단 옵션을 제공합니다: 모든 공정 관련 파라미터의 실제값, 경고 및 경보 알림의 표시, 조작자에 의한 목표값 설정 내용, 중요 운영 파라미터를 높은 시분해능으로 기록 및 시각화 (오실로코프 기능)
국가에 따라 이 제품 분류 및 기재 사항이 다를 수 있습니다. 기술, 사양, 가격 및 액세서리 제공 품목이 변경될 수 있습니다. 제품이 귀하의 국가에서 사용 가능한지에 대한 여부는 현지 담당자에게 문의하십시오.
